[实用新型]一种冷阱及镀膜装置

权利要求书

1.一种冷阱，其特征在于，包括：

供蒸镀室(1)内的蒸镀气体通过的密封腔室(2)，所述密封腔室(2)的进气端与所述蒸镀室(1)连通，所述密封腔室(2)的出气端与真空泵(3)连通；

冷却机构(4)，所述冷却机构(4)包括至少一级冷却盘管，所述至少一级冷却盘管设置在所述密封腔室(2)内，所述冷却机构(4)用于吸收蒸镀气体中的热量并吸附蒸镀气体中的蒸镀物质；以及

等离子体粉尘吸附装置，所述等离子体粉尘吸附装置包括设置在所述密封腔室(2)内的等离子体极板(5)和设置在所述密封腔室(2)外的等离子体电源(6)，所述等离子体极板(5)用于吸附所述蒸镀气体中的蒸镀物质；

其中，所述蒸镀物质包括粉尘和/或有害物质。

2.根据权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述至少一级冷却盘管包括第一级冷却盘管，所述第一级冷却盘管设置在所述密封腔室(2)内的进气端，所述等离子体极板(5)设置在所述密封腔室(2)内的出气端。

3.根据权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述至少一级冷却盘管包括串联或并联的第一级冷却盘管和第二级冷却盘管，所述第一级冷却盘管设置在所述密封腔室(2)内的进气端，所述第二级冷却盘管设置在所述密封腔室(2)内的出气端，所述等离子体极板(5)设置在所述密封腔室(2)内第一级冷却盘管和第二级冷却盘管之间。

4.根据权利要求3所述的冷阱，其特征在于，所述冷却机构(4)还包括设置在所述密封腔室(2)外的冷却机(7)；

所述第一级冷却盘管和所述第二级冷却盘管串联，所述第一级冷却盘管的入口端通过第一冷却循环管与所述冷却机(7)的出口端相连，所述第二级冷却盘管的入口端通过第二冷却循环管与所述第一级冷却盘管的出口端相连，所述第二级冷却盘管的出口端通过第三冷却循环管与所述冷却机(7)的入口端相连；

或者，

所述第一级冷却盘管与所述第二级冷却盘管并联，所述第一级冷却盘管的入口端通过第四冷却循环管与所述冷却机(7)的出口端相连，所述第一级冷却盘管的出口端通过第五冷却循环管与所述冷却机(7)的入口端相连，所述第二级冷却盘管的入口端通过第六冷却循环管与所述冷却机(7)的出口端相连，所述第二级冷却盘管的出口端通过第七冷却循环管与所述冷却机(7)的入口端相连。

5.根据权利要求2-4任一项所述的冷阱，其特征在于，所述等离子体粉尘吸附装置包括平行设置的至少两个等离子体极板(5)，所述至少两个等离子体极板(5)的相邻两个等离子体极板(5)分别连接等离子体电源(6)的正负极；

所述至少两个等离子体极板(5)沿平行于所述密封腔室(2)内的所述蒸镀气体的流通方向设置，相邻两个等离子体极板(5)之间形成供所述蒸镀气体流过的极板间隙。

6.根据权利要求5所述的冷阱，其特征在于，所述至少两个等离子体极板(5)的所有正极板的一端连接在一起，并与等离子体电源(6)的正极相连；所述至少两个等离子体极板(5)的所有负极板的一端连接在一起，并与等离子体电源(6)的负极相连。

7.根据权利要求5所述的冷阱，其特征在于，所述至少一级冷却盘管中的每一级冷却盘管为具有多个螺旋间隙的螺旋形盘管，每一个螺旋间隙均与所述极板间隙在同一直线上。

8.根据权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述等离子体电源(6)采用脉冲高频高压等离子体电源。

9.根据权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述等离子体极板(5)为金属格栅板，所述金属格栅板为不锈钢格栅板。

10.一种镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括权利要求1-9任意一项所述的冷阱。