[实用新型]一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置有效

专利信息
申请号: 201821944418.8 申请日: 2018-11-24
公开(公告)号: CN209522900U 公开(公告)日: 2019-10-22
发明(设计)人: 杜宝胜 申请(专利权)人: 苏州佑伦真空设备科技有限公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;F16P7/00;F04B37/08;F04B49/10;F04B49/22
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人: 宋翡翠
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置,其结构包括零线、第一电阻、第二电阻、第一故障报警模块、第一排气阀和第一电磁阀,本实用新型的一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置,冷泵再生开始后第二电磁阀和第三电磁阀打开给冷泵内部排气,同时第一电磁阀也打开,冷泵的通风加热器打开,稀释排氮管,冷泵再生时间完成后,电磁阀关闭,发出再生完成的提示音,停电造成冷泵停止时,冷泵内部压力增高,冷泵配有一个安全阀,内部圧力上升后自动打开,气体会自动排出,排氮管侧的第一电磁阀是常闭阀,停电时排氮管用氮气稀释,出现报警冷泵停止时,冷泵内部的温度上升,温度20K以上时自动打开第一电磁阀,稀释排气口。
搜索关键词: 冷泵 第一电磁阀 高真空镀膜 防爆装置 电磁阀 沉积 臭氧 本实用新型 自动打开 再生 氮管 电阻 稀释 停电 故障报警模块 加热器 安全阀 管用氮气 内部压力 稀释排气 常闭阀 排气阀 提示音 零线 排出 排气 增高 通风 报警
【主权项】:
1.一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置,其特征在于:包括零线(1)、第一电阻(2)、第二电阻(3)、第一故障报警模块(4)、第一排气阀(5)、第一电磁阀(6)、第三电阻(7)、第二故障报警模块(8)、第二排气阀(9)、第二电磁阀(10)、第三电磁阀(11)、冷泵(12)、第四电磁阀(13)、第五电磁阀(14)、安全阀(15)和排氮管(16),所述零线(1)与第一电阻(2)进行串联,所述第一电阻(2)与第二电阻(3)进行并联,所述第二电阻(3)与第一故障报警模块(4)进行串联,所述第一故障报警模块(4)与第一排气阀(5)进行串联,所述第一排气阀(5)与第一电磁阀(6)进行串联,所述第一电阻(2)与第三电阻(7)进行并联,所述第三电阻(7)与第二故障报警模块(8)进行串联,所述第二故障报警模块(8)与第二排气阀(9)进行串联,所述第二排气阀(9)与第二电磁阀(10)进行并联,所述第二排气阀(9)与第三电磁阀(11)进行并联,所述第二电磁阀(10)与第三电磁阀(11)并联后与冷泵(12)进行并联,所述冷泵(12)与第四电磁阀(13)进行并联,所述冷泵(12)与第五电磁阀(14)进行并联,所述冷泵(12)与安全阀(15)进行并联,所述第四电磁阀(13)与第五电磁阀(14)并联后与安全阀(15)进行并联,所述第四电磁阀(13)、第五电磁阀(14)与安全阀(15)均与排氮管相连接。
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