[实用新型]一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置

说明书

本实用新型公开了一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置，其结构包括零线、第一电阻、第二电阻、第一故障报警模块、第一排气阀和第一电磁阀，本实用新型的一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置，冷泵再生开始后第二电磁阀和第三电磁阀打开给冷泵内部排气，同时第一电磁阀也打开，冷泵的通风加热器打开，稀释排氮管，冷泵再生时间完成后，电磁阀关闭，发出再生完成的提示音，停电造成冷泵停止时，冷泵内部压力增高，冷泵配有一个安全阀，内部圧力上升后自动打开，气体会自动排出，排氮管侧的第一电磁阀是常闭阀，停电时排氮管用氮气稀释，出现报警冷泵停止时，冷泵内部的温度上升，温度20K以上时自动打开第一电磁阀，稀释排气口。

技术领域

本实用新型是一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置，属于高真空镀膜机领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜机设备中有一路氧气导入机构、所以在使用氧气时有如下危险性：冷泵内吸附的氧气燃烧造成危险；设备运用时产生的臭氧产生爆炸，造成危险。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置，以解决现有技术设备内的氧气和臭氧造成危险的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置，包括零线、第一电阻、第二电阻、第一故障报警模块、第一排气阀、第一电磁阀、第三电阻、第二故障报警模块、第二排气阀、第二电磁阀、第三电磁阀、冷泵、第四电磁阀、第五电磁阀、安全阀和排氮管，所述零线与第一电阻进行串联，所述第一电阻与第二电阻进行并联，所述第二电阻与第一故障报警模块进行串联，所述第一故障报警模块与第一排气阀进行串联，所述第一排气阀与第一电磁阀进行串联，所述第一电阻与第三电阻进行并联，所述第三电阻与第二故障报警模块进行串联，所述第二故障报警模块与第二排气阀进行串联，所述第二排气阀与第二电磁阀进行并联，所述第二排气阀与第三电磁阀进行并联，所述第二电磁阀与第三电磁阀并联后与冷泵进行并联，所述冷泵与第四电磁阀进行并联，所述冷泵与第五电磁阀进行并联，所述冷泵与安全阀进行并联，所述第四电磁阀与第五电磁阀并联后与安全阀进行并联，所述第四电磁阀、第五电磁阀与安全阀均与排氮管相连接。

本实用新型的一种ITO薄膜沉积用高真空镀膜机的臭氧防爆装置，冷泵再生开始后第二电磁阀和第三电磁阀打开给冷泵内部排气，同时第一电磁阀也打开，稀释排氮管，冷泵的通风加热器打开，稀释排氮管，冷泵再生时间完成后，第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀和第五电磁阀关闭，发出再生完了的提示音，停电造成冷泵停止时，伴随冷泵内部的温度升高的同时，吸附的气体浓度也会升高，造成冷泵内部压力增高，冷泵有配有一个安全阀，内部圧力上升（0.02Mpa以上）后自动打开，气体会自动排出，排氮管侧的第一电磁阀是常闭阀（电源关闭时阀才会打开），停电时排氮管用氮气稀释，出现报警冷泵停止时，冷泵内部的温度上升，温度20K以上时自动打开第一电磁阀，稀释排气口。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：零线-1、第一电阻-2、第二电阻-3、第一故障报警模块-4、第一排气阀-5、第一电磁阀-6、第三电阻-7、第二故障报警模块-8、第二排气阀-9、第二电磁阀-10、第三电磁阀-11、冷泵-12、第四电磁阀-13、第五电磁阀-14、安全阀-15、排氮管-16。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。