[实用新型]一种用于石英生产的行星反应炉导气装置

摘要

本实用新型公开了一种用于石英生产的行星反应炉导气装置，包括坩埚、活动壳体、内腔、铰链、顶盖、固定螺钉、密封盖、抽气腔、抽气口、过滤网、锁扣、抽真空机组、连接管、冷却水室、换热管、固定座、电机、底板、导气孔、连通孔、凹槽、从动齿轮、内齿轮和加热管；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里的电机能够直接驱使活动壳体整体进行旋转也就是使坩埚围绕活动壳体中心线进行公转，而坩埚公转时坩埚下侧的从动齿轮也会与内齿轮相啮合，从而使坩埚进行自转，从而提高了产品的质量；而设置的换热管则能够对抽的出空气进行降温，从而提高了抽真空机组的使用寿命，以及工作时的可靠性。

主权项

1.一种用于石英生产的行星反应炉导气装置，包括坩埚(1)，其特征在于：还包括活动壳体(2)、内腔(3)、铰链(4)、顶盖(5)、固定螺钉(6)、密封盖(7)、抽气腔(8)、抽气口(9)、过滤网(10)、锁扣(11)、抽真空机组(12)、连接管(13)、冷却水室(14)、换热管(15)、固定座(16)、电机(17)、底板(18)、导气孔(19)、连通孔(20)、凹槽(21)、从动齿轮(22)、内齿轮(23)和加热管(24)；所述内腔(3)为数个，所述内腔(3)分别呈圆形排列设在活动壳体(2)中，所述内腔(3)中均活动连接有坩埚(1)，所述内腔(3)内壁上均固定连接有数个加热管(24)；所述顶盖(5)位于活动壳体(2)上侧开口处，所述顶盖(5)左下侧通过铰链(4)与活动壳体(2)左上侧相连接，所述顶盖(5)右下侧通过锁扣(11)与活动壳体(2)右上侧相连接，所述顶盖(5)上侧中央内部设有抽气腔(8)；所述抽气腔(8)上侧开口处通过数个固定螺钉(6)固定连接有密封盖(7)，所述抽气腔(8)下侧四周分别通过抽气口(9)与对应的坩埚(1)内部相连通；所述抽气口(9)下侧开口处均固定连接有过滤网(10)；所述活动壳体(2)下侧活动连接在固定座(16)上侧，所述活动壳体(2)上侧中央内部竖向设有导气孔(19)，所述活动壳体(2)下侧端部与电机(17)上侧输出轴固定连接；所述导气孔(19)上侧入口与抽气腔(8)内部相连通，所述导气孔(19)下侧四周通过数个连通孔(20)与凹槽(21)内部相连通；所述凹槽(21)设在固定座(16)上侧中央内壁中，所述凹槽(21)右侧出口与换热管(15)上侧入口相连接；所述换热管(15)设在冷却水室(14)中，所述换热管(15)右侧出口通过连接管(13)与抽真空机组(12)相连接；所述冷却水室(14)设在固定座(16)右侧内部；所述电机(17)固定连接在固定座(16)下侧中央内部；所述底板(18)固定连接在固定座(16)底面上；所述从动齿轮(22)为数个，所述从动齿轮(22)分别固定连接在对应的坩埚(1)下侧轴上，所述从动齿轮(22)外侧均与内齿轮(23)的内侧相连接；所述内齿轮(23)底部固定连接在固定座(16)上侧端面槽底面上。