[实用新型]一种用于石英生产的行星反应炉导气装置

权利要求书

1.一种用于石英生产的行星反应炉导气装置，包括坩埚(1)，其特征在于：还包括活动壳体(2)、内腔(3)、铰链(4)、顶盖(5)、固定螺钉(6)、密封盖(7)、抽气腔(8)、抽气口(9)、过滤网(10)、锁扣(11)、抽真空机组(12)、连接管(13)、冷却水室(14)、换热管(15)、固定座(16)、电机(17)、底板(18)、导气孔(19)、连通孔(20)、凹槽(21)、从动齿轮(22)、内齿轮(23)和加热管(24)；

所述内腔(3)为数个，所述内腔(3)分别呈圆形排列设在活动壳体(2)中，所述内腔(3)中均活动连接有坩埚(1)，所述内腔(3)内壁上均固定连接有数个加热管(24)；

所述顶盖(5)位于活动壳体(2)上侧开口处，所述顶盖(5)左下侧通过铰链(4)与活动壳体(2)左上侧相连接，所述顶盖(5)右下侧通过锁扣(11)与活动壳体(2)右上侧相连接，所述顶盖(5)上侧中央内部设有抽气腔(8)；

所述抽气腔(8)上侧开口处通过数个固定螺钉(6)固定连接有密封盖(7)，所述抽气腔(8)下侧四周分别通过抽气口(9)与对应的坩埚(1)内部相连通；

所述抽气口(9)下侧开口处均固定连接有过滤网(10)；

所述活动壳体(2)下侧活动连接在固定座(16)上侧，所述活动壳体(2)上侧中央内部竖向设有导气孔(19)，所述活动壳体(2)下侧端部与电机(17)上侧输出轴固定连接；

所述导气孔(19)上侧入口与抽气腔(8)内部相连通，所述导气孔(19)下侧四周通过数个连通孔(20)与凹槽(21)内部相连通；

所述凹槽(21)设在固定座(16)上侧中央内壁中，所述凹槽(21)右侧出口与换热管(15)上侧入口相连接；

所述换热管(15)设在冷却水室(14)中，所述换热管(15)右侧出口通过连接管(13)与抽真空机组(12)相连接；

所述冷却水室(14)设在固定座(16)右侧内部；

所述电机(17)固定连接在固定座(16)下侧中央内部；

所述底板(18)固定连接在固定座(16)底面上；

所述从动齿轮(22)为数个，所述从动齿轮(22)分别固定连接在对应的坩埚(1)下侧轴上，所述从动齿轮(22)外侧均与内齿轮(23)的内侧相连接；

所述内齿轮(23)底部固定连接在固定座(16)上侧端面槽底面上。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英生产的行星反应炉导气装置，其特征在于：所述活动壳体(2)下侧外圆与所述固定座(16)上侧中央内壁之间设有两个密封圈，且密封圈分别位于凹槽(21)上下两侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英生产的行星反应炉导气装置，其特征在于：所述顶盖(5)底面与所述活动壳体(2)顶面之间设有密封垫。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英生产的行星反应炉导气装置，其特征在于：所述电机(17)为伺服减速电机。