[实用新型]一种基板校准装置及基板搬运装置

摘要

本实用新型提供了一种基板校准装置及基板搬运装置，该基板校准装置包括用于承接基板并可伸缩的顶起机构、以及在顶起机构承接基板后悬浮支撑基板的气浮台。为对基板进行定位，该装置还包括用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元，该第一对位单元包括多个滑动装配在气浮台上的夹持机构，且在基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在上述的多个夹持机构滑动到第一设定位置时，多个夹持机构夹持基板以实现对基板的预定位。为提高对基板的定位精度，该装置还包括用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且该第二对位单元包括设置在气浮台上的多维度调整机构、以及设置在多维度调整机构上并用于吸附基板的第一吸盘。

主权项

1.一种基板校准装置，其特征在于，包括：用于承接基板并可伸缩的顶起机构；用于在所述顶起机构承接所述基板后悬浮支撑所述基板的气浮台，其中，所述顶起机构设置在所述气浮台上；用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元；所述第一对位单元包括多个滑动装配在所述气浮台的夹持机构，且所述基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在所述多个夹持机构滑动到第一设定位置时，所述多个夹持机构夹持所述基板；在所述多个夹持机构滑动到第二设定位置时，所述多个夹持机构解除对所述基板的夹持；用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且所述第二对位单元包括设置在所述气浮台的多维度调整机构、以及设置在所述多维度调整机构上并用于吸附所述基板的第一吸盘。