[实用新型]一种基板校准装置及基板搬运装置

说明书

本实用新型提供了一种基板校准装置及基板搬运装置，该基板校准装置包括用于承接基板并可伸缩的顶起机构、以及在顶起机构承接基板后悬浮支撑基板的气浮台。为对基板进行定位，该装置还包括用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元，该第一对位单元包括多个滑动装配在气浮台上的夹持机构，且在基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在上述的多个夹持机构滑动到第一设定位置时，多个夹持机构夹持基板以实现对基板的预定位。为提高对基板的定位精度，该装置还包括用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且该第二对位单元包括设置在气浮台上的多维度调整机构、以及设置在多维度调整机构上并用于吸附基板的第一吸盘。

技术领域

本实用新型涉及到液晶显示领域，尤其涉及到一种基板校准装置及基板搬运装置。

背景技术

液晶显示装置因其具有的轻薄、功耗少等优点，逐渐成为平面显示领域的主流。在液晶显示与半导体的制造过程中，目前多使用机械手及托盘对玻璃基板进行搬运，但在使用机械手及托盘时需要在工作位平台上开孔或开槽，从而影响工作台的平整性及蔽光性，这与工作台的平整度高、蔽光性好的要求相悖。因此，在液晶显示与半导体的制造领域，逐渐引入使用气浮台对玻璃基板进行搬运的方式；目前在采用气浮台对玻璃基板进行搬运时，多数采用定位条的方式对玻璃基板进行定位，但这无法满足对玻璃基板进行精确定位的要求。

实用新型内容

本实用新型提供了一种基板校准装置及基板搬运装置，用以提高对基板的定位精度。

第一方面，本实用新型提供了一种基板校准装置，该基板校准装置包括用于承接基板并可伸缩的顶起机构、以及在上述顶起机构承接基板后悬浮支撑基板的气浮台，其中，顶起机构设置在气浮台上。

为对基板进行定位，本实用新型提供的基板校准装置还包括用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元，该第一对位单元包括多个滑动装配在气浮台上的夹持机构，且在基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在上述的多个夹持机构滑动到第一设定位置时，多个夹持机构夹持基板以实现对基板的预定位；在多个夹持机构滑动到第二设定位置时，多个夹持机构解除对基板的夹持。

为进一步提高对基板的定位精度，本实用新型提供的基板校准装置还包括用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且该第二对位单元包括设置在气浮台上的多维度调整机构、以及设置在多维度调整机构上并用于吸附基板的第一吸盘。

通过上述的技术方案，通过设置的多个夹持机构实现对基板的预定位；并通过设置的多维度调整机构以及第一吸盘实现对基板的第二次定位，从而提高基板的定位精度。

在具体设置上述的多维度调整机构时，上述的多维度调整机构包括带动第一吸盘旋转的旋转机构，其中，旋转机构的轴向与第一吸盘上用于吸附基板的端面垂直；还包括带动第一吸盘沿第一方向滑动的第一滑轨机构、以及带动第一吸盘沿第二方向滑动的第二滑轨机构，其中，上述的第一方向、第二方向以及旋转机构的轴向两两相互垂直。通过设置的第一滑轨机构、第二滑轨机构以及旋转机构实现对基板在三个维度上的调整。

在具体设置上述的第一滑轨机构、第二滑轨机构以及旋转机构时，第一滑轨机构包括固定设置在气浮台上的第一滑轨、以及与第一滑轨滑动连接的第一滑台；第二滑轨机构包括固定设置在第一滑台上的第二滑轨、以及与第二滑轨滑动连接的第二滑台；旋转机构设置在第二滑台上，第一吸盘固定设置在旋转机构上，并外露于气浮台的表面。通过将第一滑轨机构、第二滑轨机构以及旋转机构层叠设置，使多个机构之间紧凑配合，方便设置。

上述的多维度调整机构还包括用于带动第一吸盘沿着旋转机构的轴向伸缩的第一伸缩机构。具体设置该第一伸缩机构时，该第一伸缩机构可以为固定设置在第二滑台上的气缸或液压缸，其中，上述的气缸或液压缸的活塞杆与旋转机构固定连接。第一伸缩机构还可以为丝杠升降机，通过丝杠的旋转带动第一吸盘运动。通过第一伸缩机构带动第一吸盘伸缩，便于多个夹持机构与第一吸盘之间的配合。