[实用新型]一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构

摘要

本实用新型涉及一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，包括单花篮直立式旋干机、防腐骨架、电缸承载机构、转向定位机构、花篮夹持机构、花篮承载机构，单花篮直立式旋干机通过旋干机角度调整脚安装在防腐骨架上，单花篮直立式旋干机前侧设置有电缸承载机构，电缸承载机构通过电缸固定支座以及电缸可调支座安装在防腐骨架上，电缸承载机构的电缸滑台上安装有转向定位机构、花篮夹持机构，电缸滑台带动转向定位机构、花篮夹持机构作前后传送，花篮承载机构可升降式安装在防腐骨架上；本实用新型同现有技术相比，解决了单花篮在湿制程制程槽及旋干机间的全自动转运及传送，保证了花篮干进干出的制程需求，进而保证了晶圆的良率。

主权项

1.一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：包括单花篮直立式旋干机(1)、防腐骨架(2)、电缸承载机构(3)、转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)、花篮承载机构(6)，所述单花篮直立式旋干机(1)通过旋干机角度调整脚(18)安装在防腐骨架(2)上，所述旋干机角度调整脚(18)用于调整单花篮直立式旋干机(1)的倾斜角度，所述单花篮直立式旋干机(1)前侧设置有电缸承载机构(3)，所述电缸承载机构(3)通过电缸固定支座(31)以及电缸可调支座(32)安装在防腐骨架(2)上，所述电缸可调支座(32)用于调整电缸承载机构(3)的倾斜角度，所述电缸承载机构(3)的电缸滑台上安装有转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)，所述转向定位机构(4)带动花篮夹持机构(5)作90°旋转，所述花篮夹持机构(5)用于夹取花篮及晶圆(7)，所述电缸滑台带动转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)作前后传送，所述单花篮直立式旋干机(1)左侧设置有花篮承载机构(6)，所述花篮承载机构(6)可升降式安装在防腐骨架(2)上。