[实用新型]一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构

权利要求书

1.一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：包括单花篮直立式旋干机(1)、防腐骨架(2)、电缸承载机构(3)、转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)、花篮承载机构(6)，所述单花篮直立式旋干机(1)通过旋干机角度调整脚(18)安装在防腐骨架(2)上，所述旋干机角度调整脚(18)用于调整单花篮直立式旋干机(1)的倾斜角度，所述单花篮直立式旋干机(1)前侧设置有电缸承载机构(3)，所述电缸承载机构(3)通过电缸固定支座(31)以及电缸可调支座(32)安装在防腐骨架(2)上，所述电缸可调支座(32)用于调整电缸承载机构(3)的倾斜角度，所述电缸承载机构(3)的电缸滑台上安装有转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)，所述转向定位机构(4)带动花篮夹持机构(5)作90°旋转，所述花篮夹持机构(5)用于夹取花篮及晶圆(7)，所述电缸滑台带动转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)作前后传送，所述单花篮直立式旋干机(1)左侧设置有花篮承载机构(6)，所述花篮承载机构(6)可升降式安装在防腐骨架(2)上。

2.如权利要求1所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述防腐骨架(2)采用SUS不锈钢管焊接调平而成，所述防腐骨架(2)表面包覆有防腐PP板，所述防腐骨架(2)顶面安装有贴膜铝板(23)，所述防腐骨架(2)底端安装有地脚(21)及万向轮(22)。

3.如权利要求2所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述单花篮直立式旋干机(1)包括旋干机底座(11)、旋干机自动门(12)、旋干机开关门气缸(13)、旋干机电机(14)、旋干机转子(15)、机械定位孔(16)、旋干机外壳(17)、旋干机角度调整脚(18)，所述旋干机底座(11)与防腐骨架(2)的贴膜铝板相连，所述旋干机外壳(17)通过旋干机角度调整脚(18)安装在旋干机底座(11)上，所述旋干机外壳(17)一侧安装有旋干机电机(14)，所述旋干机外壳(17)内设有旋干机转子(15)，所述旋干机转子(15)与旋干机电机(14)的输出端相连，所述旋干机转子(15)上开有机械定位孔(16)，所述旋干机外壳(17)的开口处装设有旋干机自动门(12)，所述旋干机自动门(12)与旋干机开关门气缸(13)的活塞端相连，所述旋干机自动门(12)通过旋干机开关门气缸(13)自动开闭。

4.如权利要求3所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述旋干机底座(11)上的安装孔设置为腰型孔，所述单花篮直立式旋干机(1)通过腰型孔调节前后位置。

5.如权利要求3所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述旋干机外壳(17)、旋干机电机(14)与旋干机底座(11)之间均设置有旋干机缓冲垫(19)，所述旋干机外壳(17)上开设有排水口，所述排水口连接旋干机排水管(20)。

6.如权利要求3所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述电缸承载机构(3)包括电缸本体(33)、电缸滑台(34)、电缸电机(36)，所述电缸本体(33)通过电缸固定支座(31)以及电缸可调支座(32)安装在防腐骨架(2)的贴膜铝板(23)上，所述电缸可调支座(32)用于保证电缸本体(33)倾斜的角度与旋干机转子(15)倾斜角度一致，所述电缸滑台(34)设于电缸本体(33)上，所述电缸滑台(34)一侧装设有定位传感器(35)，所述电缸本体(33)底端安装有电缸电机(36)，所述电缸电机(36)处设置有电缆拖链(37)。

7.如权利要求6所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述花篮承载机构(6)包括升降气缸(61)、花篮承载盘(62)、气缸支座(63)，所述升降气缸(61)的升降端安装有花篮承载盘(62)，所述升降气缸(61)通过气缸支座(63)安装在防腐骨架(2)上，所述气缸支座(63)背面安装有风道机构(64)，所述风道机构(64)用于对花篮夹抓进行干燥，所述花篮承载盘(62)采用镂空状。