[实用新型]一种波纹管清洗装置有效
| 申请号： | 201821892416.9 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209393679U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 谢俊;蒋德念;张弢 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;F26B21/14 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种波纹管清洗装置，包括：清洗杆，所述清洗杆的第一端设置有第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴对称设置在所述清洗杆的第一端；进水管道，所述进水管道的第一端与所述清洗杆的第二端连通；第一阀门，所述第一阀门设置在所述第一喷嘴与所述清洗杆的连接处；第二阀门，所述第二阀门设置在所述第二喷嘴与所述清洗杆的连接处。其优点在于，在波纹管一侧设置清洗装置，并利用喷嘴对准波纹管，能够及时清理残余在波纹管上的CMP研磨液，避免CMP研磨液在波纹管上结晶，减少CMP研磨液对波纹管的腐蚀，从而避免出现漏液等情况，提高波纹管使用寿命，提高产品良率，降低生产成本；清洗液通过多个喷嘴，可以对波纹管针对性清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 波纹管 喷嘴 清洗杆 清洗装置 第一端 研磨液 阀门设置 进水管道 阀门 本实用新型 产品良率 对称设置 喷嘴对准 使用寿命 清洗液 漏液 连通 清洗 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种波纹管清洗装置，其特征在于，包括：清洗杆(1)，所述清洗杆(1)的第一端设置有第一喷嘴(2)和第二喷嘴(3)，所述第一喷嘴(2)和所述第二喷嘴(3)对称设置在所述清洗杆(1)的第一端；进水管道(4)，所述进水管道(4)的第一端与所述清洗杆(1)的第二端连通；第一阀门(5)，所述第一阀门(5)设置在所述第一喷嘴(2)与所述清洗杆(1)的连接处；第二阀门(6)，所述第二阀门(6)设置在所述第二喷嘴(3)与所述清洗杆(1)的连接处。
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