[实用新型]一种芯片夹具抛光研磨装置有效
| 申请号： | 201821889072.6 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209078512U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 何伟炜;杨明;印文健 | 申请（专利权）人： | 众瑞速联（武汉）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨文录 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了芯片抛光设备技术领域的一种芯片夹具抛光研磨装置，包括42度研磨盘和研磨外盘，所述研磨外盘置于42度研磨盘外侧，所述42度研磨盘内部设有通孔，通孔中安装有研磨配重支撑柱，所述研磨配重支撑柱外侧壁焊接固定有连接座，所述42度研磨盘顶部通过螺栓与研磨配重支撑柱外侧壁的连接座连接，所述研磨配重支撑柱四周通过螺栓安装有垫高支撑。该芯片夹具抛光研磨装置的设置，结构设计合理，在研磨外盘上部设有42度研磨盘，完成平面波导光栅全反射角42度的抛光研磨，使该芯片的端面实现光的全反射功能，一个夹具能够同时完成100颗芯片的抛光研磨，在保证产品功能的同时，提高了产品的生产效率的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 抛光研磨 研磨盘 支撑柱 配重 芯片夹具 外盘 芯片 连接座 外侧壁 通孔 平面波导光栅 夹具 本实用新型 全反射功能 螺栓 产品功能 焊接固定 螺栓安装 抛光设备 全反射角 生产效率 垫高 支撑 保证 | ||
【主权项】：
1.一种芯片夹具抛光研磨装置，包括42度研磨盘(1)和研磨外盘(2)，其特征在于：所述研磨外盘(2)置于42度研磨盘(1)外侧，所述42度研磨盘(1)内部设有通孔，通孔中安装有研磨配重支撑柱(10)，所述研磨配重支撑柱(10)外侧壁焊接固定有连接座，所述42度研磨盘(1)顶部通过螺栓(3)与研磨配重支撑柱(10)外侧壁的连接座连接，所述研磨配重支撑柱(10)四周通过螺栓(3)安装有垫高支撑(9)，所述42度研磨盘(1)为方形结构，所述42度研磨盘(1)四边开有凹型槽，凹型槽底部开有螺孔，凹型槽中设有第二支撑板(8)，所述第二支撑板(8)顶部设有第一支撑板(7)，所述第一支撑板(7)顶部设有缓冲板(5)，所述缓冲板(5)顶部设有压板(6)，所述缓冲板(5)、压板(6)、第一支撑板(7)和第二支撑板(8)内部开有通孔，所述缓冲板(5)和压板(6)内部开有螺孔，螺孔中连接有固定螺丝(4)，所述螺栓(3)依次穿过缓冲板(5)、压板(6)、第一支撑板(7)和第二支撑板(8)内部的通孔与凹型槽底部的螺孔连接。
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