[实用新型]一种芯片夹具抛光研磨装置有效
| 申请号： | 201821889072.6 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209078512U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 何伟炜;杨明;印文健 | 申请（专利权）人： | 众瑞速联（武汉）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨文录 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 抛光研磨 研磨盘 支撑柱 配重 芯片夹具 外盘 芯片 连接座 外侧壁 通孔 平面波导光栅 夹具 本实用新型 全反射功能 螺栓 产品功能 焊接固定 螺栓安装 抛光设备 全反射角 生产效率 垫高 支撑 保证 | ||
1.一种芯片夹具抛光研磨装置，包括42度研磨盘(1)和研磨外盘(2)，其特征在于：所述研磨外盘(2)置于42度研磨盘(1)外侧，所述42度研磨盘(1)内部设有通孔，通孔中安装有研磨配重支撑柱(10)，所述研磨配重支撑柱(10)外侧壁焊接固定有连接座，所述42度研磨盘(1)顶部通过螺栓(3)与研磨配重支撑柱(10)外侧壁的连接座连接，所述研磨配重支撑柱(10)四周通过螺栓(3)安装有垫高支撑(9)，所述42度研磨盘(1)为方形结构，所述42度研磨盘(1)四边开有凹型槽，凹型槽底部开有螺孔，凹型槽中设有第二支撑板(8)，所述第二支撑板(8)顶部设有第一支撑板(7)，所述第一支撑板(7)顶部设有缓冲板(5)，所述缓冲板(5)顶部设有压板(6)，所述缓冲板(5)、压板(6)、第一支撑板(7)和第二支撑板(8)内部开有通孔，所述缓冲板(5)和压板(6)内部开有螺孔，螺孔中连接有固定螺丝(4)，所述螺栓(3)依次穿过缓冲板(5)、压板(6)、第一支撑板(7)和第二支撑板(8)内部的通孔与凹型槽底部的螺孔连接。
2.根据权利要求1所述的一种芯片夹具抛光研磨装置，其特征在于：所述研磨配重支撑柱(10)安装于42度研磨盘(1)顶部中心位置。
3.根据权利要求1所述的一种芯片夹具抛光研磨装置，其特征在于：所述垫高支撑(9)设有四个，并且垫高支撑(9)均匀分布于研磨配重支撑柱(10)四周。
4.根据权利要求1所述的一种芯片夹具抛光研磨装置，其特征在于：所述研磨配重支撑柱(10)顶部通过焊接固定有圆盘。
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