[实用新型]一种PVD真空电弧镀膜装置有效
| 申请号： | 201821873812.7 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209194040U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李启炎 | 申请（专利权）人： | 杭州云度新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 杭州永绎专利代理事务所(普通合伙) 33317 | 代理人： | 许传秀 |
| 地址： | 311402 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种PVD真空电弧镀膜装置，包括箱体，所述箱体底部的两侧均固定安装有支撑腿，所述箱体内腔底侧的中部固定安装有电动机，所述电动机的输出轴上固定连接有圆轴，所述圆轴的顶部固定安装有水平板，所述水平板顶部的一侧固定安装有支撑板，所述支撑板的内部螺纹套装有螺栓，所述螺栓的一侧固定安装有固定板，所述箱体内腔的一侧固定安装有固定箱。该PVD真空电弧镀膜装置，通过卡槽和卡扣的配合使用，能够使喷头可以在套环的一侧旋转，通过套环、喷头、圆孔和把手之间的配合设置，能够有效调节原料喷出量，达到了控制镀膜量的效果，解决了不同待镀膜件的镀膜量不同的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空电弧镀膜 喷头 螺栓 箱体内腔 电动机 水平板 支撑板 镀膜 套环 圆轴 本实用新型 镀膜设备 内部螺纹 配合设置 有效调节 镀膜件 固定板 固定箱 喷出量 输出轴 支撑腿 卡槽 卡扣 圆孔 把手 | ||
【主权项】：
1.一种PVD真空电弧镀膜装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底部的两侧均固定安装有支撑腿(2)，所述箱体(1)内腔底侧的中部固定安装有电动机(3)，所述电动机(3)的输出轴上固定连接有圆轴(4)，所述圆轴(4)的顶部固定安装有水平板(5)，所述水平板(5)顶部的一侧固定安装有支撑板(6)，所述支撑板(6)的内部螺纹套装有螺栓(7)，所述螺栓(7)的一侧固定安装有固定板(8)，所述箱体(1)内腔的一侧固定安装有固定箱(9)，所述箱体(1)内腔的另一侧固定安装有原料盒(10)，所述原料盒(10)的一侧固定安装有喷头(11)，所述喷头(11)的一侧固定安装有调节装置(12)，所述箱体(1)的一侧固定安装有真空泵(13)，所述真空泵(13)顶部的一侧贯通连接有抽气管(14)，所述箱体(1)顶端的中部固定安装有升降机(15)，所述升降机(15)的底部固定安装有电源(16)，所述电源(16)的底部固定安装在有蒸发罩(17)，所述圆轴(4)的外部与L形板(18)的内部活动套装。
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