[实用新型]光电探测器、光电探测器阵列和光电探测终端有效

专利信息
申请号: 201821854040.2 申请日: 2018-11-12
公开(公告)号: CN209045574U 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 臧凯;李爽;贾捷阳 申请(专利权)人: 深圳市灵明光子科技有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/09
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 韩瑞
地址: 518051 广东省深圳市南山区西丽*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及光子探测技术领域,特别是涉及一种光电探测器、光电探测器阵列和光电探测终端。本申请实施例中提供了一种光电探测器,包括衬底和形成于该衬底之上的光学谐振腔:所述光学谐振腔可包括:光吸收层,具有相对的光线入射外表面和底部外部表面,以及位于所述光线入射表面与所述底部表面之间的外侧壁;陷光结构层,覆盖于所述光线入射表面;以及光反射结构层,覆盖于所述光吸收层的所述底部外表面和/或所述外侧壁上;其中,所述光反射结构层用于反射透过所述陷光结构层射入所述光学谐振腔中的外部光线,以增加该外部光线在所述光吸收层中的传播光程,进而有效提升光电探测器的光子吸收效率。
搜索关键词: 光电探测器 光学谐振腔 光吸收层 光电探测器阵列 光线入射表面 光反射结构 光电探测 外部光线 陷光结构 外侧壁 衬底 终端 光子探测技术 光子吸收效率 本实用新型 底部外表面 底部表面 光线入射 外部表面 光程 射入 反射 覆盖 传播 申请
【主权项】:
1.一种光电探测器,其特征在于,包括衬底和形成于该衬底之上的光学谐振腔:所述光学谐振腔包括:光吸收层,具有相对的光线入射外表面和底部外部表面,以及位于所述光线入射表面与所述底部表面之间的外侧壁;陷光结构层,覆盖于所述光线入射表面;以及光反射结构层,覆盖于所述光吸收层的所述底部外表面和/或所述外侧壁上;其中,所述光反射结构层用于反射透过所述陷光结构层射入所述光学谐振腔中的外部光线,以增加该外部光线在所述光吸收层中的传播光程。
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