[实用新型]硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具

摘要

本实用新型涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具，包括拉杆、硅粉清除块和压盘，拉杆上端设置有拉环，下端连接有连接块，硅粉清除块呈圆柱状，其上表面和下表面分别设置有上压槽和下压槽，硅粉清除块内部设置有多个连接孔，连接孔位于上压槽和下压槽之间，并与上压槽和下压槽相互连通，压盘包括上压盘、下压盘和连接丝杆，上压盘位于上压槽内，其上表面的中间位置与连接块的下端固定连接，下压盘位于下压槽内，上压盘和下压盘上均设置有多个与连接丝杆结构相配合的螺孔，连接丝杆的螺头端位于上压盘的外部，另一端经上压盘上的螺孔和连接孔，与下压盘上的螺孔螺纹连接；本实用新型具有结构安全可靠、使用及清理方便的优点。

主权项

1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具，包括拉杆（1）、硅粉清除块（2）和压盘（3），其特征在于：所述拉杆（1）上端固定设置有拉环（4），下端固定连接有连接块（5），所述硅粉清除块（2）呈圆柱状，其上表面的中间位置固定设置有上压槽（21），下表面的中间位置固定设置有下压槽（22），所述硅粉清除块（2）内部设置有多个连接孔（23），所述连接孔（23）位于所述上压槽（21）和所述下压槽（22）之间，并与上压槽（21）和下压槽（22）相互连通，所述压盘（3）包括上压盘（31）、下压盘（32）和连接丝杆（33），所述上压盘（31）位于所述上压槽（21）内，其上表面的中间位置与所述连接块（5）的下端固定连接，所述下压盘（32）位于所述下压槽（22）内，所述上压盘（31）和所述下压盘（32）上均设置有多个与所述连接丝杆（33）结构相配合的螺孔，所述连接丝杆（33）的螺头端位于所述上压盘（31）的外部，另一端经上压盘（31）上的螺孔和连接孔（23），与下压盘（32）上的螺孔螺纹连接。