[实用新型]硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具

说明书

本实用新型涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具，包括拉杆、硅粉清除块和压盘，拉杆上端设置有拉环，下端连接有连接块，硅粉清除块呈圆柱状，其上表面和下表面分别设置有上压槽和下压槽，硅粉清除块内部设置有多个连接孔，连接孔位于上压槽和下压槽之间，并与上压槽和下压槽相互连通，压盘包括上压盘、下压盘和连接丝杆，上压盘位于上压槽内，其上表面的中间位置与连接块的下端固定连接，下压盘位于下压槽内，上压盘和下压盘上均设置有多个与连接丝杆结构相配合的螺孔，连接丝杆的螺头端位于上压盘的外部，另一端经上压盘上的螺孔和连接孔，与下压盘上的螺孔螺纹连接；本实用新型具有结构安全可靠、使用及清理方便的优点。

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产设备技术领域，具体涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具。

背景技术

多晶硅具有灰色金属光泽，可溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸，其硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂，加热至800℃以上即有延性，1300℃时显出明显变形；多晶硅在常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应，多晶硅具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，但微量的杂质即可大大影响其导电性；电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料；多晶硅在生产的过程中，其夹套管的内壁会附着很多纳米硅粉，而套管的内壁直径是大都在160mm，由于套管内空间较小，在对其内部的纳米硅粉进行清理时很不方便，并且，在清理过程中若选用的工具不当亦容易对夹套管的内壁造成损伤；因此，为解决上述问题，开发一种结构安全可靠、使用及清理方便的多晶硅热分解炉用清除夹套内纳米硅粉的工具很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种结构安全可靠、使用及清理方便的清除夹套内纳米硅粉的工具。

本实用新型的目的是这样实现的：硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具，包括拉杆、硅粉清除块和压盘，所述拉杆上端固定设置有拉环，下端固定连接有连接块，所述硅粉清除块呈圆柱状，其上表面的中间位置固定设置有上压槽，下表面的中间位置固定设置有下压槽，所述硅粉清除块内部设置有多个连接孔，所述连接孔位于所述上压槽和所述下压槽之间，并与上压槽和下压槽相互连通，所述压盘包括上压盘、下压盘和连接丝杆，所述上压盘位于所述上压槽内，其上表面的中间位置与所述连接块的下端固定连接，所述下压盘位于所述下压槽内，所述上压盘和所述下压盘上均设置有多个与所述连接丝杆结构相配合的螺孔，所述连接丝杆的螺头端位于所述上压盘的外部，另一端经上压盘上的螺孔和连接孔，与下压盘上的螺孔螺纹连接。

所述上压盘的直径为80mm，其上表面的外侧设置有环形凹槽。

所述上压槽和所述下压槽的结构大小均相同。

所述上压盘和所述下压盘上均呈对称状设置有四个螺孔。

所述硅粉清除块由直径为160mm的软橡胶材料制成。

所述硅粉清除块由直径大于160mm的海绵制成。

所述连接丝杆的螺头端为内六角螺头。

所述拉环的外端固定套设有防滑橡胶软垫。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在硅粉清除块上表面和下表面的中间位置设置上压槽和下压槽，利用上压槽和下压槽分别对上压盘和下压盘进行放置，通过在硅粉清除块内上压槽和下压槽之间设置连接孔，上压盘和下压盘上设置螺孔，利用连接丝杆由上压盘上的螺孔经连接孔与下压盘上的螺孔螺纹连接，从而完成本实用新型中上压盘和下压盘与硅粉清除块之间的限位连接，使用时，通过提拉拉环，带动硅粉清除块在夹套管内上下移动，利于硅粉清除块对夹套管内壁上附着的纳米硅粉进行清除，同时，本实用新型中硅粉清除块采用软橡胶材料或海绵制成，可避免在使用硅粉清除块对夹套管进行清理时，对夹套管内壁造成损伤的问题；总的，本实用新型具有结构安全可靠、使用及清理方便的优点。