[实用新型]机械手臂及传送装置

摘要

本实用新型提供一种机械手臂及传送装置。机械手臂包括机械手臂本体和多个真空吸盘，其中，机械手臂本体内设置有多条真空管路及多条清洗干燥管路；多个真空吸盘位于机械手臂本体上，其上表面高于机械手臂本体的上表面，真空吸盘内设有真空吸附口及清洗干燥口，真空吸附口与真空管路相连通，清洗干燥口与清洗干燥管路相连通。本实用新型可以极大减小机械手臂和晶圆的接触面积，同时可通过清洗干燥管路对真空吸盘清洗以提高其清洁度，避免因机械手臂被污染继而对晶圆造成污染，确保对晶圆表面的金属杂质含量测量结果的准确性，有助于工艺良率的改善，且机械手臂及传送装置的使用寿命可有效延长，有助于降低生产成本。

主权项

1.一种机械手臂，其特征在于，包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体内设置有多条真空管路及多条清洗干燥管路；多个真空吸盘，位于所述机械手臂本体上，所述真空吸盘的上表面高于所述机械手臂本体的上表面；所述真空吸盘内设有真空吸附口及清洗干燥口，所述真空吸附口与所述真空管路相连通，所述清洗干燥口与所述清洗干燥管路相连通。