[实用新型]一种镀膜夹具及其载条

摘要

本实用新型公开了一种镀膜夹具及其载条，镀膜夹具包括从下到上依次设置的下盖板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上盖板。镀膜夹具的载条包括底座和若干导向条，各导向条等间距设置在底座的上端面，各镀膜夹具嵌入到两两相邻的导向条之间。该镀膜夹具及其载条在镀膜夹具中，通过上底板上的磁铁，有效实现了对多层板的加固，对晶体实现固定，同时，镀膜夹具通过合理的尺寸设计，能够同时有5个放置在载条上，每套镀膜夹具可放置晶片数量672片，从而生产效率提高，镀膜效率提高，设备投入成本降低和水电气能源消耗降低。本实用新型设计合理，适合推广使用。

主权项

1.一种镀膜夹具，其特征在于：包括从下到上依次设置的下盖板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上盖板；所述定位片上设有若干定位区，每个定位区由若干等间距设置的定位孔组成；所述下掩膜和上掩膜上设有等数量的镀膜区，下掩膜和上掩膜上镀膜区的数量均与定位片上定位区的数量相等，镀膜区由若干等间距设置的镀膜孔组成，所述下掩膜上的镀膜孔与上掩膜上的镀膜孔镜像设置；所述下盖板、下底板、上底板和上盖板上均设有等数量的开孔，下盖板、下底板、上底板和上盖板上开孔的数量均与定位片上定位区的数量相等。