[实用新型]一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置有效
| 申请号： | 201821800930.5 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN209378704U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王军;俞利群;俞云琪 | 申请（专利权）人： | 大连八方流体技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116400 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了生产装置解毒技术领域的一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，包括生产装置本体，生产装置本体的左侧内腔设置有压力传感器，生产装置本体的左侧壁设置有解毒开关，生产装置本体与解毒装置之间设置有排泄管道，水箱的内腔设置有水泵；本实用新型通过在生产装置与解毒中间设置了连接管，在需要解毒的时候防止释放的蒸汽损失，可以边解毒边将泄出去的热气再回收到生产装置的内部，将解毒时释放蒸汽中的毒气回收利用，在生产装置与解毒中间还设置有排泄管道，在发生意外或者需要清理生产装置的时候及时将热气泄出，减少了安全损失，使用方便，便于大规模推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 生产装置 解毒 解毒装置 半导体生产 本实用新型 排泄管道 气体排放 内腔 热气 回收利用 解毒技术 蒸汽损失 中间设置 释放 传感器 连接管 有压力 再回收 左侧壁 水箱 水泵 蒸汽 安全 | ||
【主权项】：
1.一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，包括生产装置本体(1)，其特征在于：所述生产装置本体(1)的左侧内腔设置有压力传感器(14)，所述生产装置本体(1)的左侧壁设置有解毒开关(13)，所述生产装置本体(1)的底部设置有两组滚轮(12)，所述生产装置本体(1)的顶部通过连接管(2)与解毒装置(7)的顶部连接，所述生产装置本体(1)与解毒装置(7)之间设置有排泄管道(10)，所述排泄管道(10)的一端与生产装置本体(1)连接，且排泄管道(10)贯穿解毒装置(7)的内腔另一端与排气喷头(4)连接，所述解毒装置(7)的底部设置有水箱(9)，所述水箱(9)的内腔设置有水泵(8)，所述解毒装置(7)的右侧壁底部设置有控制装置(6)，所述控制装置(6)顶端设置有冷风机(5)。
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