[实用新型]一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置有效
| 申请号： | 201821800930.5 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN209378704U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王军;俞利群;俞云琪 | 申请（专利权）人： | 大连八方流体技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116400 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产装置 解毒 解毒装置 半导体生产 本实用新型 排泄管道 气体排放 内腔 热气 回收利用 解毒技术 蒸汽损失 中间设置 释放 传感器 连接管 有压力 再回收 左侧壁 水箱 水泵 蒸汽 安全 | ||
1.一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，包括生产装置本体(1)，其特征在于：所述生产装置本体(1)的左侧内腔设置有压力传感器(14)，所述生产装置本体(1)的左侧壁设置有解毒开关(13)，所述生产装置本体(1)的底部设置有两组滚轮(12)，所述生产装置本体(1)的顶部通过连接管(2)与解毒装置(7)的顶部连接，所述生产装置本体(1)与解毒装置(7)之间设置有排泄管道(10)，所述排泄管道(10)的一端与生产装置本体(1)连接，且排泄管道(10)贯穿解毒装置(7)的内腔另一端与排气喷头(4)连接，所述解毒装置(7)的底部设置有水箱(9)，所述水箱(9)的内腔设置有水泵(8)，所述解毒装置(7)的右侧壁底部设置有控制装置(6)，所述控制装置(6)顶端设置有冷风机(5)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，其特征在于：两组所述滚轮(12)的一侧设置有卡扣(11)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，其特征在于：所述水泵(8)的外侧设置有保护层。
4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，其特征在于：所述控制装置(6)与冷风机(5)电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置，其特征在于：所述连接管(2)和排泄管道(10)上分别设置有控制阀(3)。
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