[实用新型]一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具有效

专利信息
申请号: 201821794965.2 申请日: 2018-11-02
公开(公告)号: CN209452202U 公开(公告)日: 2019-10-01
发明(设计)人: 郭翔宇 申请(专利权)人: 长沙迈博光电有限公司
主分类号: B05C13/02 分类号: B05C13/02
代理公司: 安化县梅山专利事务所 43005 代理人: 夏赞希
地址: 410000 湖南省长沙市长沙经济技术开发*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具,包括:底座,所述底座上周向设有若干个固定孔和顶柱孔,所述底座的中部设有台阶部,所述台阶部的中部开设有螺纹孔;顶柱,所述顶柱嵌入设于所述顶柱孔内;固定螺钉,所述固定螺钉设于所述固定孔内;压帽,所述压帽套接于所述台阶部上;橡胶圈,所述橡胶圈紧配套设于所述压帽外;工件,所述工件紧配套设于所述橡胶圈外的下端位置;压紧螺钉,所述压紧螺钉螺接于所述螺纹孔内。本实用新型提供的一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具,是针对环片内孔通过O型圈的膨胀进行夹紧的夹具,夹装简单,制作成本低。
搜索关键词: 夹具 环形基片 光刻胶 台阶部 橡胶圈 底座 本实用新型 固定螺钉 顶柱孔 固定孔 螺纹孔 顶柱 压帽 钉螺 下端位置 压紧螺钉 压紧螺 压帽套 环片 夹紧 夹装 内孔 配套 嵌入 膨胀 制作
【主权项】:
1.一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具,其特征在于,包括:底座,所述底座上周向设有若干个固定孔和顶柱孔,所述底座的中部设有台阶部,所述台阶部的中部开设有螺纹孔;顶柱,所述顶柱嵌入设于所述顶柱孔内;固定螺钉,所述固定螺钉设于所述固定孔内;压帽,所述压帽套接于所述台阶部上;橡胶圈,所述橡胶圈紧配套设于所述压帽外;工件,所述工件设于所述台阶部上,并且紧配套设于所述橡胶圈外的下端位置;压紧螺钉,所述压紧螺钉螺接于所述螺纹孔内。
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