[实用新型]一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具

说明书

本实用新型公开了一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具，包括：底座，所述底座上周向设有若干个固定孔和顶柱孔，所述底座的中部设有台阶部，所述台阶部的中部开设有螺纹孔；顶柱，所述顶柱嵌入设于所述顶柱孔内；固定螺钉，所述固定螺钉设于所述固定孔内；压帽，所述压帽套接于所述台阶部上；橡胶圈，所述橡胶圈紧配套设于所述压帽外；工件，所述工件紧配套设于所述橡胶圈外的下端位置；压紧螺钉，所述压紧螺钉螺接于所述螺纹孔内。本实用新型提供的一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具，是针对环片内孔通过O型圈的膨胀进行夹紧的夹具，夹装简单，制作成本低。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，尤其是一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具。

背景技术

目前甩胶夹具大多是针对规则玻璃和不规则玻璃两种。利用离心力将胶在玻璃上涂敷在玻璃上。主要的夹装方法有真空吸附、边缘卡位两种。很少有针对环形玻璃的甩胶夹具。

环片的夹具利用传统的边缘卡位需要外部施加夹力。在夹具设计上会很复杂，成本也较高。用真空吸附夹装，同样结构复杂，成本较高，且会在玻璃背面产生斑迹。在湿法刻蚀的应用上很产生不良影响。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具。

本实用新型的技术方案为：一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具，包括：

底座，所述底座上周向设有若干个固定孔和顶柱孔，所述底座的中部设有台阶部，所述台阶部的中部开设有螺纹孔；

顶柱，所述顶柱嵌入设于所述顶柱孔内；

固定螺钉，所述固定螺钉设于所述固定孔内；

压帽，所述压帽套接于所述台阶部上；

橡胶圈，所述橡胶圈紧配套设于所述压帽外；

工件，所述工件设于所述台阶部上，并且紧配套设于所述橡胶圈外的下端位置；

压紧螺钉，所述压紧螺钉螺接于所述螺纹孔内。

优选地，所述固定孔为3个。

优选地，所述顶柱孔为3个。

优选地，所述底座采用LY12铝合金制成。

优选地，所述顶柱采用PTFE制成。

优选地，所述压帽采用304不锈钢制成。

优选地，所述橡胶圈采用硅胶圈。

优选地，所述工件为环形玻璃基片。

优选地，所述顶柱高度低于所述台阶部的高度。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型提供的一种用于环形基片涂布光刻胶的夹具，通过扭紧压紧螺钉，挤压橡胶圈，产生形变。橡胶高于环形基片的部分会扩张，大于基片内孔，可以防止旋转过程中基片飞出，并产生向下的力，与顶柱相互作用夹紧基片。橡胶未高于环形基片得部分会涨紧基片内孔，产生向外的力，增加摩擦力。防止基片再旋转过程中打滑。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的夹具与工件装配结构示意图。

图3为本实用新型的底座结构示意图。

图4为本实用新型的顶柱结构示意图。

图5为本实用新型的压帽结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步说明。