[实用新型]一种集成电路晶圆传输装置

摘要

本实用新型公开了一种集成电路晶圆传输装置，包括底板，所述底板的上表面左侧两侧均固接有竖板，两个所述竖板之间设有转杆，所述转杆通过第一轴承与竖板转动相连，所述转杆的外壁固定套接有滚筒，所述滚筒的外壁固定套接有皮带，右侧所述竖板的右表面固接有箱体，所述箱体的内部设有电机。该集成电路晶圆传输装置，是进行使用时，通过螺栓、滑杆、压板、皮带之间的配合，计算好集成电路晶圆的厚度，然后通过转动螺栓，来调节压板与皮带之间的间隙，间隙只能通过一个集成电路晶圆，从而不会出现两个或者多个集成电路晶圆重合在一起的情况发生，不会为以后的工序带有影响。

主权项

1.一种集成电路晶圆传输装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的上表面左侧两侧均固接有竖板（2），两个所述竖板（2）之间设有转杆（3），所述转杆（3）通过第一轴承（4）与竖板（2）转动相连，所述转杆（3）的外壁固定套接有滚筒（5），所述滚筒（5）的外壁固定套接有皮带（6），右侧所述竖板（2）的右表面固接有箱体（7），所述箱体（7）的内部设有电机（8），所述电机（8）的外壁固定套接有套环（9），所述套环（9）与箱体（7）固定相连，所述电机（8）与转杆（3）固定相连，所述箱体（7）的下表面固接有支柱（10），所述支柱（10）与底板（1）固定相连，所述竖板（2）的顶端固接有横板（11），所述横板（11）的上表面插入有螺栓（12），所述螺栓（12）贯穿横板（11），所述螺栓（12）与横板（11）螺纹连接，所述螺栓（12）的底端设有压板（13），所述压板（13）通过第二轴承（14）与螺栓（12）转动相连，所述横板（11）的上表面左右两侧均插入有滑杆（15），所述滑杆（15）与横板（11）间隙配合，所述滑杆（15）贯穿横板（11），所述滑杆（15）的底端固接有垫片（16），所述垫片（16）与压板（13）固定相连，所述横板（11）的下表面左右两侧均固接有导板（22）。