[实用新型]一种多角度半导体检测设备有效

专利信息
申请号: 201821736879.6 申请日: 2018-10-25
公开(公告)号: CN209028104U 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 马迪 申请(专利权)人: 江苏友迪激光科技有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04
代理公司: 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 代理人: 孙乔乔
地址: 221700 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种多角度半导体检测设备,涉及检测设备技术领域。本实用新型包括基座:基座一表面固定连接有若干调节板;若干调节板一表面均开设有滑槽;滑槽周侧面滑动连接有竖向齿条板;竖向齿条板一表面固定连接有支撑板;支撑板一表面开设有条形贯穿孔;条形贯穿孔两相对表面均开设有调节槽;调节槽周侧面滑动连接有横向齿条板;横向齿条板一表面固定连接有活动座。本实用新型通过万向连接头、球头夹具、万向球的设计,使该检测设备能够从多个角度对半导体各个侧面进行全方位的观测,且在观测时,观测板和SQUID探头能进行多角度的调整,解决现有的检测设备观测角度受到限制的问题。
搜索关键词: 本实用新型 表面固定 检测设备 半导体检测设备 横向齿条 滑动连接 竖向齿条 观测 调节板 贯穿孔 支撑板 滑槽 夹具 万向连接头 侧面 表面开设 观测板 活动座 万向球 周侧面 探头 槽周 球头 半导体
【主权项】:
1.一种多角度半导体检测设备,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)一表面固定连接有若干调节板(2);若干所述调节板(2)一表面均开设有滑槽(3);所述滑槽(3)周侧面滑动连接有竖向齿条板(4);所述竖向齿条板(4)一表面固定连接有支撑板(5);所述支撑板(5)一表面开设有条形贯穿孔(6);所述条形贯穿孔(6)两相对表面均开设有调节槽(7);所述调节槽(7)周侧面滑动连接有横向齿条板(8);所述横向齿条板(8)一表面固定连接有活动座(9);所述活动座(9)一表面固定连接有转轴(10);所述转轴(10)一端固定连接有U形夹板(11);所述U形夹板(11)内表面之间转动连接有旋转杆(12);所述旋转杆(12)一端贯穿U形夹板(11)并延伸至U形夹板(11)外部;所述旋转杆(12)一表面固定连接有球头夹具(13);所述球头夹具(13)内壁转动连接有万向球(14);所述万向球(14)周侧面固定连接有观测板(15);所述基座(1)一表面固定连接有调节杆(16);所述调节杆(16)周侧面固定连接有顶板(17);所述顶板(17)一表面嵌有万向连接头(18);所述万向连接头(18)周侧面固定连接有SQUID探头(19)。
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