[实用新型]一种多角度半导体检测设备有效
| 申请号： | 201821736879.6 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN209028104U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏友迪激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 | 代理人： | 孙乔乔 |
| 地址： | 221700 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 本实用新型 表面固定 检测设备 半导体检测设备 横向齿条 滑动连接 竖向齿条 观测 调节板 贯穿孔 支撑板 滑槽 夹具 万向连接头 侧面 表面开设 观测板 活动座 万向球 周侧面 探头 槽周 球头 半导体 | ||
1.一种多角度半导体检测设备，包括基座(1)，其特征在于：
所述基座(1)一表面固定连接有若干调节板(2)；若干所述调节板(2)一表面均开设有滑槽(3)；所述滑槽(3)周侧面滑动连接有竖向齿条板(4)；所述竖向齿条板(4)一表面固定连接有支撑板(5)；所述支撑板(5)一表面开设有条形贯穿孔(6)；所述条形贯穿孔(6)两相对表面均开设有调节槽(7)；所述调节槽(7)周侧面滑动连接有横向齿条板(8)；所述横向齿条板(8)一表面固定连接有活动座(9)；
所述活动座(9)一表面固定连接有转轴(10)；所述转轴(10)一端固定连接有U形夹板(11)；所述U形夹板(11)内表面之间转动连接有旋转杆(12)；所述旋转杆(12)一端贯穿U形夹板(11)并延伸至U形夹板(11)外部；所述旋转杆(12)一表面固定连接有球头夹具(13)；所述球头夹具(13)内壁转动连接有万向球(14)；所述万向球(14)周侧面固定连接有观测板(15)；
所述基座(1)一表面固定连接有调节杆(16)；所述调节杆(16)周侧面固定连接有顶板(17)；所述顶板(17)一表面嵌有万向连接头(18)；所述万向连接头(18)周侧面固定连接有SQUID探头(19)。
2.根据权利要求1所述的一种多角度半导体检测设备，其特征在于，所述调节板(2)和支撑板(5)内表面之间均转动连接有微调齿轮(20)；所述竖向齿条板(4)和横向齿条板(8)一表面均与微调齿轮(20)卡接。
3.根据权利要求1所述的一种多角度半导体检测设备，其特征在于，所述滑槽(3)和调节槽(7)均为T形槽；所述旋转杆(12)周侧面螺纹连接有调节旋钮(21)。
4.根据权利要求1所述的一种多角度半导体检测设备，其特征在于，所述调节杆(16)周侧面设置有调节螺母。
5.根据权利要求1所述的一种多角度半导体检测设备，其特征在于，所述顶板(17)位于调节板(2)正上方；所述万向连接头(18)位于顶板(17)中部；所述基座(1)一表面固定连接有支脚(22)。
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