[实用新型]一种载板有效
| 申请号： | 201821702065.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN209243166U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及载板技术领域，尤其涉及一种载板。该载板包括具有N个侧面的承载区域和N个边缘区域，所述N个边缘区域分别对应设置在所述承载区域的N个侧面，所述N个边缘区域中的X个边缘区域与所述承载区域弹性连接，所述N为大于等于2的正整数，X为大于等于1小于等于N的正整数。本实用新型提供的载板，能够在保证基片的镀膜均匀性的前提下，有效减少载板的边缘区域造成的镀膜浪费，同时有效减少载板的边缘区域造成的设备空间的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘区域 载板 承载区域 有效减少 正整数 本实用新型 镀膜均匀性 弹性连接 设备空间 侧面 镀膜 保证 | ||
【主权项】：
1.一种载板，其特征在于：包括具有N个侧面的承载区域和N个边缘区域，所述N个边缘区域分别对应设置在所述承载区域的N个侧面，所述N个边缘区域中的X个边缘区域与所述承载区域弹性连接，所述N为大于等于2的正整数，X为大于等于1小于等于N的正整数。
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