[实用新型]一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备有效
| 申请号： | 201821691984.2 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN213353238U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈文奂;谢丹;舒霞云;许克宇;吴常健;魏智滨;张墙;肖航 | 申请（专利权）人： | 厦门理工学院 |
| 主分类号： | B29C41/52 | 分类号： | B29C41/52;B29C41/36;B29L7/00 |
| 代理公司： | 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 | 代理人： | 麻艳 |
| 地址： | 361024 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，包括微滴喷射装置、采集液滴成膜过程图像的图像采集装置及控制成膜设备工作的中控单元；所述的微滴喷射装置包括喷头、基板及运动机构，所述的基板设于运动机构的运动台上；所述的图像采集装置包括显微镜及高速相机。本实用新型装置能够实时监测液滴沉积成膜过程，通过观察监测到的液滴沉积形成图像，获取成膜过程信息，作为后续工作的基础或者获取经验数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监测 沉积 过程 设备 | ||
【主权项】：
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