[实用新型]一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备

权利要求书

1.一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，其特征在于：包括微滴喷射装置(1)、采集液滴成膜过程图像的图像采集装置(2)及控制成膜设备工作的中控单元(3)；所述的微滴喷射装置(1)包括喷头(11)、基板(12)及运动机构(18)，所述的基板(12)设于运动机构(18)的运动台(13)上，该运动台(13)的上方设有壳体(15)，所述的喷头(11)固定安装于该壳体(15)的顶部；所述的图像采集装置(2)包括显微镜(21)及高速相机(22)，该图像采集装置(2)安装在基板(12)和运动台(13)的下方；该显微镜(21)与高速相机(22)上下固定放置；该基板(12)为透明可视的；所述的中控单元(3)包括对各装置发布是否运行的命令的中央控制芯片、用于输入指令信息及显示监测数据并记录数据的控制面板及电连接各装置的驱动电路。

2.根据权利要求1所述的一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，其特征在于：所述的运动台(13)下方设有保护腔(17)，所述的图像采集装置(2)设于该保护腔(17)内。

3.根据权利要求1所述的一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，其特征在于：所述的显微镜(21)和高速相机(22)与基板(12)为相对静止。

4.根据权利要求2所述的一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，其特征在于：所述的保护腔(17)连接有使基板(12)真空吸附固定于运动台(13)上的真空吸附管道(61)，该真空吸附管道(61)还与一真空泵(62)连接。

5.根据权利要求1所述的一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，其特征在于：所述的运动台(13)也以透明材料制成。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，其特征在于：所述的高速相机以摄像机代替。