[实用新型]一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备有效
| 申请号： | 201821622978.1 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN209026525U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 薛荣华;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备，偏置射频匹配器包括壳体、导流管，壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，冷却液管路用于将待降温单元降温，壳体的底部开设有泄漏孔，导流管的进口端密封连接于泄漏孔靠近外侧的一端，导流管用于导流通过泄漏孔流出的液体，导流管的出口端置于一容置单元内，且泄漏孔的水平高度高于导流管的出口端的水平高度，容置单元具有一用于容置导流管流出的液体的容置腔。通过在偏置射频匹配器的壳体的底部开设泄漏孔，并在泄漏孔靠近外侧的一端连接导流管，导流泄漏孔流出的液体，避免了冷却液管路发生泄漏时冷却液在偏置射频匹配器的壳体内聚集的问题，提高了生产安全性和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 导流管 泄漏孔 射频匹配器 偏置 冷却液管路 壳体 漏液检测系统 半导体设备 流出 降温单元 容置单元 导流 体内 本实用新型 生产安全性 密封连接 生产效率 一端连接 出口端 进口端 冷却液 容置腔 容置 泄漏 出口 | ||
【主权项】：
1.一种偏置射频匹配器，用于半导体设备上，其特征在于，包括壳体、导流管，所述壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，所述冷却液管路用于将所述待降温单元降温，所述壳体的底部开设有泄漏孔，所述导流管的进口端密封连接于所述泄漏孔靠近外侧的一端，所述导流管用于导流通过所述泄漏孔流出的液体，所述导流管的出口端置于一容置单元内；且所述泄漏孔的水平高度高于所述导流管的出口端的水平高度，所述容置单元具有一用于容置所述导流管流出的液体的容置腔。
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