[实用新型]一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备

权利要求书

1.一种偏置射频匹配器，用于半导体设备上，其特征在于，包括壳体、导流管，所述壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，所述冷却液管路用于将所述待降温单元降温，所述壳体的底部开设有泄漏孔，所述导流管的进口端密封连接于所述泄漏孔靠近外侧的一端，所述导流管用于导流通过所述泄漏孔流出的液体，所述导流管的出口端置于一容置单元内；

且所述泄漏孔的水平高度高于所述导流管的出口端的水平高度，所述容置单元具有一用于容置所述导流管流出的液体的容置腔。

2.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述导流管为软管。

3.如权利要求2所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述软管为塑胶软管或金属软管。

4.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的数量为一个或多个。

5.如权利要求4所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的数量为多个，且所述壳体的底部上相邻两个所述泄漏孔之间开设有一个导流槽，所述导流槽的一端连接于一个所述泄漏孔，另一端连接于另一个所述泄漏孔。

6.如权利要求4所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的数量为多个，且所述壳体的底部上相邻两个所述泄漏孔之间开设有多个导流槽，每个所述导流槽的一端连接于一个所述泄漏孔，另一端连接于另一个所述泄漏孔。

7.如权利要求5或6所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述导流槽沿垂直于所述壳体的底部的一端面方向上的投影形状为条形、S形或弧形。

8.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述导流管的一端与所述壳体通过胶剂胶接。

9.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述待降温单元为电容。

10.一种偏置射频匹配器的漏液检测系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的一种偏置射频匹配器、以及漏液探测单元、电磁阀和控制器；

所述漏液探测单元位于所述容置腔的底部，所述漏液探测单元用于检测所述壳体内是否发生漏液；

所述漏液探测单元的信号输出端与所述控制器连接；

所述电磁阀用于控制所述冷却液管路的开闭；

所述控制器用于接收所述漏液探测单元输出的信号，并根据所述信号控制所述电磁阀的通断。

11.如权利要求10所述的一种偏置射频匹配器的漏液检测系统，其特征在于，还包括阀门、主机及人机交互界面，所述电磁阀为气动电磁阀；

所述漏液探测单元信号输出端与所述控制器的第一信号输入端连接；

所述控制器的信号输出端与所述气动电磁阀的信号输入端连接；

所述控制器的信号输出端与所述主机的信号输入端连接；

所述主机的信号输出端与所述控制器的第二信号输入端连接；

所述气动电磁阀与所述阀门通过管路连接；

所述阀门与所述冷却液管路相连接；

所述人机交互界面连接于所述主机；

若所述漏液探测单元监测到漏液现象：

则所述控制器接收所述漏液探测单元的信号输出端反馈的信息，并传递至所述主机，所述主机在所述人机交互界面显示报警信息；

所述主机发送漏液信号至所述控制器，所述控制器发送阀门切断信号至所述气动电磁阀，所述气动电磁阀控制所述阀门关闭。

12.如权利要求11所述的一种偏置射频匹配器的漏液检测系统，其特征在于，所述控制器为控制电路板或PLC控制器。

13.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求10-12任一项所述的一种偏置射频匹配器的漏液检测系统。

14.如权利要求13所述的一种半导体设备，其特征在于，还包括一射频车，所述容置单元为所述射频车。