[实用新型]一种柔性可拉伸的光子晶体传感器有效
申请号: | 201821622321.5 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN208860984U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 彭望;吴豪;尹周平 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B1/10 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青;李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型属于光电器件技术领域,并具体公开了一种柔性可拉伸的光子晶体传感器,包括柔性光栅基底层和高折射率光栅层,其中:所述柔性光栅基底层包括柔性基底和设于柔性基底上的柔性光栅,所述柔性光栅包括呈周期交替排列的光栅凹槽和光栅凸台,所述光栅凹槽和光栅凸台的上表面均沉积有高折射率材料层。本实用新型成功的解决了传统的光子晶体传感器不具备柔性和可拉伸性的不足之处,为柔性光子晶体器件在机器人触觉感知领域的应用提供了基础,能够充分发挥柔性基底的可拉伸性功能,对由外界物理量变动引起的光子晶体结构变化进行分类感知,适应性强、检测精度高。 | ||
搜索关键词: | 光栅 光子晶体传感器 柔性基底 本实用新型 光栅凹槽 可拉伸性 基底层 拉伸 凸台 感知 物理量 高折射率材料层 光子晶体结构 光子晶体器件 机器人触觉 高折射率 光电器件 应用提供 周期交替 传统的 光栅层 上表面 沉积 分类 检测 成功 | ||
【主权项】:
1.一种柔性可拉伸的光子晶体传感器,其特征在于,包括柔性光栅基底层和高折射率光栅层,其中:所述柔性光栅基底层包括柔性基底和设于柔性基底上的柔性光栅,所述柔性光栅包括呈周期交替排列的光栅凹槽和光栅凸台,所述光栅凹槽和光栅凸台的上表面均沉积有高折射率材料层。
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