[实用新型]一种柔性可拉伸的光子晶体传感器有效
| 申请号： | 201821622321.5 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208860984U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 彭望;吴豪;尹周平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B1/10 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 光子晶体传感器 柔性基底 本实用新型 光栅凹槽 可拉伸性 基底层 拉伸 凸台 感知 物理量 高折射率材料层 光子晶体结构 光子晶体器件 机器人触觉 高折射率 光电器件 应用提供 周期交替 传统的 光栅层 上表面 沉积 分类 检测 成功 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性可拉伸的光子晶体传感器，其特征在于，包括柔性光栅基底层和高折射率光栅层，其中：
所述柔性光栅基底层包括柔性基底和设于柔性基底上的柔性光栅，所述柔性光栅包括呈周期交替排列的光栅凹槽和光栅凸台，所述光栅凹槽和光栅凸台的上表面均沉积有高折射率材料层。
2.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的光子晶体传感器，其特征在于，所述柔性光栅基底层由柔性PDMS纳米材料制备而成。
3.根据权利要求1或2所述的一种柔性可拉伸的光子晶体传感器，其特征在于，所述高折射率材料层的厚度H2为50nm～200nm。
4.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的光子晶体传感器，其特征在于，所述高折射率材料层为ZnS、Si3N4、TiO2、ZnO或碲酸盐玻璃制备而成。
5.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的光子晶体传感器，其特征在于，所述光栅凹槽的宽度D1为100nm～300nm，所述光栅凸台的宽度D2为100nm～300nm。
6.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的光子晶体传感器，其特征在于，所述柔性光栅凸台的高度H1为50nm～100nm。
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