[实用新型]一种蒸镀源遮挡机构有效
| 申请号: | 201821602599.6 | 申请日: | 2018-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN208844171U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
| 发明(设计)人: | 王建新 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 金海;周放 |
| 地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种蒸镀源遮挡机构,包括挡片、转轴和驱动件,转轴穿过蒸镀室设置;蒸镀室上设置转轴的一面还设置了N个蒸镀源;转轴的第一端位于蒸镀室内,转轴的第二端位于蒸镀室外;第二端与驱动件相连;挡片与转轴的第一端固定连接;挡片在穿过转轴的蒸镀室的一面的投影包括N个离散面,N个离散面分别覆盖N个蒸镀源中的一个,N为大于等于1的正整数;挡片上还设置有检测件,检测件与蒸镀控制器电连接。本实用新型的蒸镀源遮挡机构,其通过驱动件驱动转轴旋转,使得挡片能够对蒸镀源进行遮挡或不遮挡,从而保证了蒸镀工艺的稳定性,大大地提高了产品质量,并且,检测件能够实时监测挡片的弯曲程度,使得工艺人员能够及时对挡片进行检修。 | ||
| 搜索关键词: | 挡片 转轴 蒸镀源 蒸镀 遮挡机构 驱动件 蒸镀室 本实用新型 第一端 离散面 遮挡 检测 穿过 控制器电 驱动转轴 实时监测 正整数 投影 检修 室外 室内 覆盖 保证 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀源遮挡机构,其特征在于,包括挡片、转轴和驱动件,所述转轴穿过蒸镀室设置;蒸镀室上设置转轴的一面还设置了N个蒸镀源;所述转轴的第一端位于所述蒸镀室内,所述转轴的第二端位于所述蒸镀室外,所述第二端与所述驱动件相连;所述转轴的第一端与所述挡片固定连接,所述挡片在穿过转轴的蒸镀室的一面的投影包括N个离散面,所述N个离散面分别覆盖N个蒸镀源中的一个,N为大于等于1的正整数;所述挡片上还设置有用于检测所述挡片弯曲程度的检测件,所述检测件与蒸镀控制器电连接。
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