[实用新型]一种蒸镀源遮挡机构有效
| 申请号: | 201821602599.6 | 申请日: | 2018-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN208844171U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
| 发明(设计)人: | 王建新 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 金海;周放 |
| 地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 挡片 转轴 蒸镀源 蒸镀 遮挡机构 驱动件 蒸镀室 本实用新型 第一端 离散面 遮挡 检测 穿过 控制器电 驱动转轴 实时监测 正整数 投影 检修 室外 室内 覆盖 保证 | ||
1.一种蒸镀源遮挡机构,其特征在于,包括挡片、转轴和驱动件,所述转轴穿过蒸镀室设置;蒸镀室上设置转轴的一面还设置了N个蒸镀源;所述转轴的第一端位于所述蒸镀室内,所述转轴的第二端位于所述蒸镀室外,所述第二端与所述驱动件相连;所述转轴的第一端与所述挡片固定连接,所述挡片在穿过转轴的蒸镀室的一面的投影包括N个离散面,所述N个离散面分别覆盖N个蒸镀源中的一个,N为大于等于1的正整数;所述挡片上还设置有用于检测所述挡片弯曲程度的检测件,所述检测件与蒸镀控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述离散面为扇面。
3.根据权利要求1所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述蒸镀源的个数为两个,所述离散面的个数为两个。
4.根据权利要求1所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述检测件为应力片。
5.根据权利要求4所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述检测件设置在所述挡片上远离所述转轴的一端。
6.根据权利要求1所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述蒸镀源遮挡机构还包括滑环,所述滑环包括固定外圈、设置在所述固定外圈内的旋转内圈,所述旋转内圈与所述固定外圈转动配合;所述滑环的旋转内圈与所述转轴固定连接,所述检测件通过线束与所述滑环的固定外圈上的线束电连接,所述固定外圈上的线束与所述蒸镀控制器电连接。
7.根据权利要求6所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述蒸镀源遮挡机构还包括与所述蒸镀室的内壁相连的固定支架,所述滑环的固定外圈设置在所述固定支架上。
8.根据权利要求7所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述固定支架还包括过孔,所述过孔的直径大于所述转轴的直径,所述转轴穿过所述过孔设置。
9.根据权利要求6所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述蒸镀源遮挡机构还包括线管,所述线管的一端与所述滑环的固定外圈相连,所述线管的另一端与所述蒸镀室的底部相连,所述固定外圈上的线束穿过所述线管与所述蒸镀控制器电连接。
10.根据权利要求1至9任一项所述的蒸镀源遮挡机构,其特征在于,所述转轴上设置有与所述挡片相配合的安装卡槽,所述挡片通过卡簧被固定在所述安装卡槽内。
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