[实用新型]提纯三氯氢硅的装置有效
申请号: | 201821592471.6 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN209242693U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 刘见华;万烨;赵雄;严大洲;赵宇;常欣 | 申请(专利权)人: | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;金田蕴 |
地址: | 471023 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种提纯三氯氢硅的装置。该装置包括:反应器,用于三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应,精密过滤器,用于将从反应器中排出的反应产物进行精密过滤,以及精馏塔,用于将从精密过滤器中排出的反应液体产物脱除杂质、轻组分和重组分。应用本实用新型的技术方案,采用反应精馏工艺,将原料中的低氯含量的甲基氯硅烷通过反应转化为高氯含量的甲基氯硅烷,同时,将B、P等转化为高沸点络合物,再通过精馏进行分离,最终得到高纯的三氯氢硅。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 本实用新型 甲基氯硅烷 精密过滤器 反应器 提纯 反应液体产物 氯气 反应精馏 精密过滤 高沸点 精馏塔 络合物 低氯 高纯 高氯 精馏 脱除 催化 光源 氧气 转化 应用 | ||
【主权项】:
1.一种提纯三氯氢硅的装置,其特征在于,包括:反应器,用于三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应,精密过滤器,用于将从所述反应器中排出的反应产物进行精密过滤,以及精馏塔,用于将从所述精密过滤器中排出的反应液体产物脱除杂质、轻组分和重组分。
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