[实用新型]提纯三氯氢硅的装置有效
| 申请号： | 201821592471.6 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN209242693U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘见华;万烨;赵雄;严大洲;赵宇;常欣 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;金田蕴 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 本实用新型 甲基氯硅烷 精密过滤器 反应器 提纯 反应液体产物 氯气 反应精馏 精密过滤 高沸点 精馏塔 络合物 低氯 高纯 高氯 精馏 脱除 催化 光源 氧气 转化 应用 | ||
1.一种提纯三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：
反应器，用于三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应，
精密过滤器，用于将从所述反应器中排出的反应产物进行精密过滤，以及
精馏塔，用于将从所述精密过滤器中排出的反应液体产物脱除杂质、轻组分和重组分。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为微通道连续流反应器，所述微通道连续流反应器的通道直径为100～200微米。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述微通道连续流反应器配置有超声波清洗系统，所述超声波清洗系统包括直接对所述微通道连续流反应器的反应模块进行超声波清洗的部分和对三氯氢硅原料进行超声波处理的部分。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器包括反应区域以及设置在所述反应区域周围的换热夹层。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为透明材质。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器设置有三氯氢硅进料口、氯气进料口和氧气进料口。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精密过滤器的过滤精度为0.003～2微米。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述精密过滤器包括滤壳和设置在所述滤壳内的滤芯；所述滤芯为柱状，包括滤芯支撑层、导流层、中心柱、外框和端盖，所述滤芯支撑层、所述导流层、所述中心柱、所述外框和所述端盖的材质均为聚丙烯材质。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精馏塔包括依次连通的脱轻塔和脱重塔。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述脱轻塔和脱重塔均为填料塔。
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