[实用新型]一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板有效
| 申请号： | 201821586312.5 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN209133450U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 凌杰 | 申请（专利权）人： | 昆山米克诺精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板，包括装置主体、承接板、螺帽槽和卡槽，所述装置主体的底端安装有承接板，且承接板靠近装置主体一端的四个拐角处皆固定有插块，所述装置主体上设置有与插块相互配合的插槽，且插槽内侧的装置主体上皆开设有螺帽槽，所述螺帽槽内侧的装置主体上设置有轻薄钢板。该离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板抗腐蚀性很好，防护屏蔽效果更佳，使用寿命更长，不会使金属部件受到较高的磨损，并且该装置安装拆卸方便快捷，同时对紧固螺栓的密封效果较好，有效的防止紧固螺栓被锈蚀，使得装置更加牢靠，同时该装置具有很好的缓冲结构，能够减轻冲击力。 | ||
| 搜索关键词： | 装置主体 等离子蚀刻 石墨挡板 承接板 螺帽槽 离子 紧固螺栓 插槽 插块 本实用新型 拆卸方便 缓冲结构 金属部件 密封效果 屏蔽效果 使用寿命 装置安装 轻薄 锈蚀 拐角处 底端 卡槽 冲击力 钢板 磨损 防护 配合 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板，包括装置主体(1)、承接板(2)、螺帽槽(3)和卡槽(4)，其特征在于：所述装置主体(1)的底端安装有承接板(2)，且承接板(2)靠近装置主体(1)一端的四个拐角处皆固定有插块(10)，所述装置主体(1)上设置有与插块(10)相互配合的插槽(11)，且插槽(11)内侧的装置主体(1)上皆开设有螺帽槽(3)，所述螺帽槽(3)内侧的装置主体(1)上设置有轻薄钢板(12)，所述轻薄钢板(12)的底端固定有承接钢板(13)，且承接钢板(13)端部的底端与装置主体(1)之间皆通过缓冲弹簧(15)固定连接，所述缓冲弹簧(15)内侧的承接钢板(13)底端均匀固定有橡胶减震块(16)，且橡胶减震块(16)与装置主体(1)连接。
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