[实用新型]一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板有效

专利信息
申请号: 201821586312.5 申请日: 2019-03-22
公开(公告)号: CN209133450U 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 凌杰 申请(专利权)人: 昆山米克诺精密机械有限公司
主分类号: H01J37/30 分类号: H01J37/30;H01J37/317;H01J37/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板,包括装置主体、承接板、螺帽槽和卡槽,所述装置主体的底端安装有承接板,且承接板靠近装置主体一端的四个拐角处皆固定有插块,所述装置主体上设置有与插块相互配合的插槽,且插槽内侧的装置主体上皆开设有螺帽槽,所述螺帽槽内侧的装置主体上设置有轻薄钢板。该离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板抗腐蚀性很好,防护屏蔽效果更佳,使用寿命更长,不会使金属部件受到较高的磨损,并且该装置安装拆卸方便快捷,同时对紧固螺栓的密封效果较好,有效的防止紧固螺栓被锈蚀,使得装置更加牢靠,同时该装置具有很好的缓冲结构,能够减轻冲击力。
搜索关键词: 装置主体 等离子蚀刻 石墨挡板 承接板 螺帽槽 离子 紧固螺栓 插槽 插块 本实用新型 拆卸方便 缓冲结构 金属部件 密封效果 屏蔽效果 使用寿命 装置安装 轻薄 锈蚀 拐角处 底端 卡槽 冲击力 钢板 磨损 防护 配合
【主权项】:
1.一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板,包括装置主体(1)、承接板(2)、螺帽槽(3)和卡槽(4),其特征在于:所述装置主体(1)的底端安装有承接板(2),且承接板(2)靠近装置主体(1)一端的四个拐角处皆固定有插块(10),所述装置主体(1)上设置有与插块(10)相互配合的插槽(11),且插槽(11)内侧的装置主体(1)上皆开设有螺帽槽(3),所述螺帽槽(3)内侧的装置主体(1)上设置有轻薄钢板(12),所述轻薄钢板(12)的底端固定有承接钢板(13),且承接钢板(13)端部的底端与装置主体(1)之间皆通过缓冲弹簧(15)固定连接,所述缓冲弹簧(15)内侧的承接钢板(13)底端均匀固定有橡胶减震块(16),且橡胶减震块(16)与装置主体(1)连接。
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