[实用新型]一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板

说明书

本实用新型公开了一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板，包括装置主体、承接板、螺帽槽和卡槽，所述装置主体的底端安装有承接板，且承接板靠近装置主体一端的四个拐角处皆固定有插块，所述装置主体上设置有与插块相互配合的插槽，且插槽内侧的装置主体上皆开设有螺帽槽，所述螺帽槽内侧的装置主体上设置有轻薄钢板。该离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板抗腐蚀性很好，防护屏蔽效果更佳，使用寿命更长，不会使金属部件受到较高的磨损，并且该装置安装拆卸方便快捷，同时对紧固螺栓的密封效果较好，有效的防止紧固螺栓被锈蚀，使得装置更加牢靠，同时该装置具有很好的缓冲结构，能够减轻冲击力。

技术领域

本实用新型涉及石墨挡板技术领域，具体为一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板。

背景技术

随着社会的不断发展，科学的不断进步，石墨应用越来越广泛，其中应用于离子注入和等离子蚀刻的石墨挡板也得以不断创新和发展，给厂家和企业带来了极大的便利，而传统的挡板并不是由石墨制造而成的，不具备高精度、高耐腐蚀性等优点，虽然也能起到一定程度上的阻挡防护作用，但经过离子或等离子束长时间的撞击，会使挡板的表面磨损较为严重，甚至形成坑坑洼洼状，直到挡板被撞穿，使得金属部件受到撞击造成较高的损耗，磨损较严重，缩短了金属部件的使用寿命，同时传统的挡板抗腐蚀性较差，而离子或等离子束具有较强的腐蚀性，从而导致挡板易被腐蚀，使得金属部件暴露在外，与离子或等离子束直接接触，造成损耗，因此亟需一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板，以解决上述背景技术中提出的现有的挡板抗腐蚀性差，使用寿命短，不能起到很好的防护屏蔽作用，使得金属部件磨损较严重的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板，包括装置主体、承接板、螺帽槽和卡槽，所述装置主体的底端安装有承接板，且承接板靠近装置主体一端的四个拐角处皆固定有插块，所述装置主体上设置有与插块相互配合的插槽，且插槽内侧的装置主体上皆开设有螺帽槽，所述螺帽槽内侧的装置主体上设置有轻薄钢板，所述轻薄钢板的底端固定有承接钢板，且承接钢板端部的底端与装置主体之间皆通过缓冲弹簧固定连接，所述缓冲弹簧内侧的承接钢板底端均匀固定有橡胶减震块，且橡胶减震块与装置主体连接。

优选的，所述装置主体与缓冲弹簧、缓冲弹簧与承接钢板、承接钢板与轻薄钢板、承接板与插块之间皆通过焊接固定，所述承接钢板与橡胶密封垫圈、承接钢板与橡胶减震块、橡胶减震块与装置主体之间皆通过胶水粘贴固定。

优选的，所述螺帽槽外侧的装置主体上皆开设有卡槽，所述螺帽槽内部的装置主体和承接板上皆开设有螺栓槽，且螺栓槽上皆设置有紧固螺栓，所述紧固螺栓外侧的螺帽槽内侧设置有螺帽，且螺帽的内部设置有与紧固螺栓相互配合的内置腔，所述螺帽的端部皆设置有与卡槽相互配合的卡块。

优选的，所述螺帽槽、卡槽、螺栓槽皆设置有四个，所述螺帽槽的直径为螺栓槽直径的两倍。

优选的，所述承接钢板的底端设置有凹槽，所述装置主体的底端设置有与承接钢板长度相等的凹槽。

优选的，所述承接钢板端部的顶端皆固定有橡胶密封垫圈，所述橡胶密封垫圈设置有四块，所述橡胶密封垫圈的一侧与轻薄钢板连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板抗腐蚀性很好，防护屏蔽效果更佳，使用寿命更长，不会使金属部件受到较高的磨损，并且该装置安装拆卸方便快捷，同时对紧固螺栓的密封效果较好，有效的防止紧固螺栓被锈蚀，使得装置更加牢靠，同时该装置具有很好的缓冲结构，能够减轻冲击力；

(1)该离子注入用石墨挡板，其细颗粒高密度等特点使得装置本身呈现出很强的抗腐蚀性，即使是在极其恶劣的工况下(如离子束轰击或等离子体束)也是如此，由于离子束的原因，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，而石墨挡板可以用来做屏蔽罩，从而保护金属部件；