[实用新型]玻璃基板的清洗装置有效
| 申请号： | 201821564837.9 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN209049775U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 丁友谊;王正安 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/08;B08B11/04 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨志廷 |
| 地址： | 100176 北京市经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种玻璃基板的清洗装置，用于清洗去除玻璃基板上的绕镀膜层，涉及光伏及半导体制造的技术领域，清洗装置包括第一清洗机构和第二清洗机构；第一清洗机构和第二清洗机构间隔设置，且分别与玻璃基板的两侧对应，用于将与其对应的背面及侧部的位置清洗；第一清洗机构和第二清洗机构具有能够吸附清洗液的清洗部，清洗部在与玻璃基板接触时将玻璃基板上的绕镀膜层清洗去除；缓解现有技术中存在的为防止玻璃基板绕镀膜层而制作掩膜板而带来的制造成本高、制造难度高的技术问题；在保证玻璃基板绕镀膜层清除的基础上，降低成本，具有更好的实际应用价值和推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 清洗机构 镀膜层 清洗 清洗装置 去除 半导体制造 本实用新型 间隔设置 制造成本 清洗液 掩膜板 光伏 吸附 背面 缓解 制作 应用 制造 保证 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的清洗装置，用于清洗去除玻璃基板上的绕镀膜层，其特征在于，所述清洗装置包括第一清洗机构和第二清洗机构；所述第一清洗机构和第二清洗机构间隔设置，且分别与玻璃基板的两侧对应，用于将与其对应的背面及侧部的位置清洗；第一清洗机构和第二清洗机构具有能够吸附清洗液的清洗部，所述清洗部在与所述玻璃基板接触时将所述玻璃基板上的绕镀膜层清洗去除。
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