[实用新型]一种通用型晶元片检测用探针组件结构

摘要

本实用新型涉及晶元片测技术领域，公开了一种通用型晶元片检测用探针组件结构，包括探针座、探针，探针座的侧面设有第一连接片，第一连接片的外端设有第二连接片，第二连接片与第一连接片通过螺栓连接；探针座的中心设有探针通孔，探针通孔的上端设有上定位孔，探针通孔的下端设有下定位孔，探针与探针通孔之间形成环形间隙，上定位孔、下定位孔的底部均设有柔性密封圈，上定位孔内设有上定位套，上定位套与上定位孔之间螺纹连接，下定位孔内设有下定位套，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，探针的上端设有导电插头，导电插头上连接有数据线，数据线的外端连接有数据接头。本实用新型具有通用性强、探针定位稳定、更换方便的有益效果。

主权项

1.一种通用型晶元片检测用探针组件结构，包括探针座、探针，其特征是，所述探针座呈圆柱形，探针座的侧面设有第一连接片，所述第一连接片的外端设有第二连接片，第二连接片与第一连接片通过螺栓连接；探针座的中心设有探针通孔，所述探针通孔的上端设有上定位孔，所述探针通孔的下端设有下定位孔，所述的探针与探针通孔之间形成环形间隙，所述上定位孔、下定位孔的底部均设有柔性密封圈，所述上定位孔内设有上定位套，上定位套与上定位孔之间螺纹连接，所述下定位孔内设有下定位套，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，所述探针的上端设有导电插头，导电插头上连接有数据线，数据线的外端连接有数据接头。