[实用新型]一种通用型晶元片检测用探针组件结构

说明书

本实用新型涉及晶元片测技术领域，公开了一种通用型晶元片检测用探针组件结构，包括探针座、探针，探针座的侧面设有第一连接片，第一连接片的外端设有第二连接片，第二连接片与第一连接片通过螺栓连接；探针座的中心设有探针通孔，探针通孔的上端设有上定位孔，探针通孔的下端设有下定位孔，探针与探针通孔之间形成环形间隙，上定位孔、下定位孔的底部均设有柔性密封圈，上定位孔内设有上定位套，上定位套与上定位孔之间螺纹连接，下定位孔内设有下定位套，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，探针的上端设有导电插头，导电插头上连接有数据线，数据线的外端连接有数据接头。本实用新型具有通用性强、探针定位稳定、更换方便的有益效果。

技术领域

本实用新型涉及晶元片检测技术领域，尤其涉及一种通用型晶元片检测用探针组件结构。

背景技术

普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，为了将不良的晶元筛选掉，防止后续制成不良的芯片，晶元在封装制造成芯片之前必须要对所有的晶元进行检测，通常每个晶元片上存在成百上千个晶元，人工检测工作量大，而且容易漏检，目前为了降低成本、提高检测效率，通常采用检测设备进行检测，探针是晶元片检测设备上的重要部件，将晶元片固定后，通过一根探针依次在晶元片表面移动来检测每个晶元的性能，然而不同的晶元片需要不同型号的探针进行检测，不同型号的探针的外径存在一定的差异，目前需要对每一种不同直径的探针单均需要独立的探针对对探针定位，探针座通用性很差。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种通用型晶元片检测用探针组件结构，该种探针组件中的探针座能对不同直径的探针进行定位，定位稳定、探针更换方便。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种通用型晶元片检测用探针组件结构，包括探针座、探针，所述探针座呈圆柱形，探针座的侧面设有第一连接片，所述第一连接片的外端设有第二连接片，第二连接片与第一连接片通过螺栓连接；探针座的中心设有探针通孔，所述探针通孔的上端设有上定位孔，所述探针通孔的下端设有下定位孔，所述的探针与探针通孔之间形成环形间隙，所述上定位孔、下定位孔的底部均设有柔性密封圈，所述上定位孔内设有上定位套，上定位套与上定位孔之间螺纹连接，所述下定位孔内设有下定位套，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，所述探针的上端设有导电插头，导电插头上连接有数据线，数据线的外端连接有数据接头。

探针伸入探针通孔内后，拧紧上定位套，上定位套挤压柔性密封圈，使得柔性密封圈发生形变，上定位孔内的柔性密封圈的内壁抱紧探针上端，同理，拧紧下定位套，下定位孔内的柔性密封圈抱紧探针下端，从而实现探针的稳定定位；由于柔性密封圈具有一定的形变量，因此只要直径小于探针通孔的探针均能被该种探针座定位，也可以根据需要更换柔性密封圈的尺寸以满足抱紧探针的要求；探针定位后，探针的表面与探针通孔不接触，探针绝缘性能好，能提高探针的检测精度。

作为优选，上定位孔内的柔性密封圈与上定位孔的底部之间设有上绝缘垫圈，下定位孔内的柔性密封圈与下定位孔的底部之间设有下绝缘垫圈。上绝缘垫圈、下绝缘垫圈均是对探针进行辅助定位，防止柔性密封圈变形不均匀而导致探针倾斜，也能防止探针与探针通孔的内壁接触。

作为优选，所述探针座的顶部设有端盖，端盖的中心设有引线孔，所述的数据线穿过引线孔。端盖对导电插头与探针的连接处起到保护作用。

作为优选，所述上定位套、下定位套的内壁均设有绝缘套。绝缘套能防止探针与上定位套、下定位套的内壁接触而短路。

因此，本实用新型具有通用性强、探针定位稳定、更换方便的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。