[实用新型]一种多波长激光损伤阈值检测装置

摘要

本实用新型公开了一种多波长激光损伤阈值检测装置。所述测量装置采用4台高能脉冲激光器，分别经对应棱镜转折后进入共轴光学系统，4光束共用一套系统，以及计算机控制处理系统，利用可变间距的正‑负透镜组成扩束系统，对扩束系统的光学间隔进行调整，可实现不同波长激光束的准直扩束；采用步进电机精确控制聚焦透镜的位置，对不同激光波长的焦距进行补偿，从而保证激光传输到测试表面，其光斑的大小及离焦量恒定。该装置实现了测试系统的集成化、自动化、智能化，能够在线、实时、快速、准确判别薄膜损伤，同一测试装置，可以测量多种不同波长的激光损伤阈值。

主权项

1.一种多波长激光损伤阈值检测装置，包括依次设置于主光轴上的开关挡板（3）、衰减器（6）、第一分束器（7）、位移聚焦透镜（8）、第二分束器（9）、和样品台（12），还包括CCD相机（10）、光纤光谱仪（11）、光束分析仪（13）、能量计（14）和计算机（15），所述的第一分束器（7）上连接有能量计（14），第二分束器（9）上连接有光束分析仪（13），CCD相机（10）、光纤光谱仪（11）、光束分析仪（13）、能量计（14）分别与计算机（15）连接，其特征在于：所述的开关挡板（3）的前端光轴上并列设置有若干条光路，每条光路上依次设置有激光器（1）和立方棱镜（2），每块立方棱镜均由一对直角棱镜胶合而成，每块直角棱镜的直角面上均镀有宽带增透膜，胶合的两块直角棱镜中，其中一块直角棱镜斜面上镀有多层介质膜，可将本光路和上一光路的光束耦合进入主光轴，所述的开关挡板（3）与衰减器（6）之间设置有扩束系统。