[实用新型]一种多波长激光损伤阈值检测装置有效
| 申请号： | 201821531491.2 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN208833473U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 徐均琪;苏俊宏;杨利红;梁海锋;李建超;时凯;吴慎将;诗云云 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阈值检测装置 多波长激光 扩束系统 损伤 计算机控制处理系统 高能脉冲激光器 共轴光学系统 恒定 本实用新型 波长激光束 光斑 薄膜损伤 步进电机 测量装置 测试表面 测试系统 测试装置 光学间隔 激光波长 激光传输 激光损伤 聚焦透镜 装置实现 准直扩束 焦距 棱镜 负透镜 集成化 离焦量 智能化 可变 波长 测量 自动化 转折 保证 | ||
1.一种多波长激光损伤阈值检测装置，包括依次设置于主光轴上的开关挡板（3）、衰减器（6）、第一分束器（7）、位移聚焦透镜（8）、第二分束器（9）、和样品台（12），还包括CCD相机（10）、光纤光谱仪（11）、光束分析仪（13）、能量计（14）和计算机（15），所述的第一分束器（7）上连接有能量计（14），第二分束器（9）上连接有光束分析仪（13），CCD相机（10）、光纤光谱仪（11）、光束分析仪（13）、能量计（14）分别与计算机（15）连接，其特征在于：所述的开关挡板（3）的前端光轴上并列设置有若干条光路，每条光路上依次设置有激光器（1）和立方棱镜（2），每块立方棱镜均由一对直角棱镜胶合而成，每块直角棱镜的直角面上均镀有宽带增透膜，胶合的两块直角棱镜中，其中一块直角棱镜斜面上镀有多层介质膜，可将本光路和上一光路的光束耦合进入主光轴，所述的开关挡板（3）与衰减器（6）之间设置有扩束系统。
2.根据权利要求1所述的一种多波长激光损伤阈值检测装置，其特征在于：所述的扩束系统由一对可变间距的正透镜（4）和负透镜（5）组成的伽利略望远系统构成，所述的负透镜（5）设置于步进电机驱动的支架上，可沿光轴方向移动，以对不同光束的焦距差异进行补偿。
3.根据权利要求1或2所述的一种多波长激光损伤阈值检测装置，其特征在于：所述的位移聚焦透镜（8）设置于步进电机驱动的支架上，可沿光轴方向移动，补偿不同波长造成的焦距长短差异。
4.根据权利要求3所述的一种多波长激光损伤阈值检测装置，其特征在于：所述的样品台（12）通过两只步进电机驱动，在垂直于主光轴的平面内二维移动。
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