[实用新型]电容式压力计有效
| 申请号： | 201821494927.5 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN208751752U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 何文;薛超;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电容式压力计。所述电容式压力计包括：外壳；金属膜片，位于所述外壳围绕而成的容纳腔内，且所述金属膜片在所述容纳腔内围绕形成一压力检测腔；冷凝剂，填充于所述外壳与所述金属膜片之间的夹层区域，用于降低所述压力检测腔中的温度。本实用新型有效提高了电容式压力计的稳定性，并延长了电容式压力计的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电容式压力计 金属膜片 本实用新型 压力检测腔 容纳腔 半导体制造技术 夹层区域 使用寿命 冷凝剂 填充 | ||
【主权项】：
1.一种电容式压力计，其特征在于，包括：外壳；金属膜片，位于所述外壳围绕而成的容纳腔内，且所述金属膜片在所述容纳腔内围绕形成一压力检测腔；冷凝剂，填充于所述外壳与所述金属膜片之间的夹层区域，用于降低所述压力检测腔中的温度。
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