[实用新型]电容式压力计有效
| 申请号： | 201821494927.5 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN208751752U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 何文;薛超;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容式压力计 金属膜片 本实用新型 压力检测腔 容纳腔 半导体制造技术 夹层区域 使用寿命 冷凝剂 填充 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容式压力计，其特征在于，包括：
外壳；
金属膜片，位于所述外壳围绕而成的容纳腔内，且所述金属膜片在所述容纳腔内围绕形成一压力检测腔；
冷凝剂，填充于所述外壳与所述金属膜片之间的夹层区域，用于降低所述压力检测腔中的温度。
2.根据权利要求1所述的电容式压力计，其特征在于，还包括散热片；所述散热片环绕所述外壳的外表面设置，用于将所述冷凝剂吸收的热量传输至外界。
3.根据权利要求2所述的电容式压力计，其特征在于，所述散热片与所述外壳可拆卸的连接。
4.根据权利要求1所述的电容式压力计，其特征在于，所述压力检测腔包括与反应腔室连通的第一端以及与所述第一端相对的第二端；所述第二端处具有一凹槽，使得位于所述第二端处的金属膜片与所述压力检测腔中的固定电极接触。
5.根据权利要求4所述的电容式压力计，其特征在于，在沿与所述压力检测腔的轴向方向垂直的方向上，所述凹槽底部的宽度大于或等于所述固定电极的宽度。
6.根据权利要求1所述的电容式压力计，其特征在于，还包括绝缘层；所述绝缘层涂布于所述金属膜片朝向所述外壳的表面。
7.根据权利要求1所述的电容式压力计，其特征在于，所述外壳上具有一开口，所述冷凝剂经所述开口进入所述夹层区域。
8.根据权利要求1所述的电容式压力计，其特征在于，所述冷凝剂为冷却水。
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