[实用新型]基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置有效

专利信息
申请号: 201821472944.9 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN208704658U 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 蓝旭辉;沈小燕;刘源 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种基于悬臂梁应变测量的F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对装置。包括面阵器件、F‑P标准具干涉测量系统、应力加载系统、矩形等截面梁、悬臂梁固定结构和支架。支架一端固定在光学平台上,F‑P标准具干涉测量系统放置在其上方;面阵器件固定在矩形等截面梁上,矩形等截面梁的一端用悬臂梁固定结构固定在光学隔振平台上;通过应力加载系统改变应力F的大小,用F‑P标准具干涉测量系统和悬臂梁挠度计算公式计算相应的位移量,通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本实用新型具有测量运算简单,测量精细,准确度高等特点。
搜索关键词: 标准具 悬臂梁 线性度 微位移测量系统 干涉测量系统 等截面梁 本实用新型 比对装置 固定结构 加载系统 面阵器件 应变测量 支架 光学隔振平台 测量运算 公式计算 光学平台 挠度计算 准确度 位移量 比对 测量 精细
【主权项】:
1.基于悬臂梁应变测量的F‑P微位移测量系统线性度比对装置,包括F‑P标准具干涉测量系统(6)、面阵器件(7)、支架(8)、矩形等截面梁(9)、悬臂梁固定结构(14)和应力加载系统(15),其特征在于:支架(8)一端固定在光学隔振平台(16)上,另一端用于放置F‑P标准具干涉测量系统(6),面阵器件(7)布置在F‑P标准具干涉测量系统(6)前且与F‑P标准具干涉测量系统(6)处于同一光轴中用于成像,悬臂梁固定结构(14)将矩形等截面梁(9)以悬臂梁结构固定,应力加载系统(15)通过对应力F的改变从而改变矩形等截面梁(9)端面的形变大小。
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