[实用新型]基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置有效
| 申请号: | 201821472944.9 | 申请日: | 2018-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN208704658U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
| 发明(设计)人: | 蓝旭辉;沈小燕;刘源 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 标准具 悬臂梁 线性度 微位移测量系统 干涉测量系统 等截面梁 本实用新型 比对装置 固定结构 加载系统 面阵器件 应变测量 支架 光学隔振平台 测量运算 公式计算 光学平台 挠度计算 准确度 位移量 比对 测量 精细 | ||
1.基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置,包括F-P标准具干涉测量系统(6)、面阵器件(7)、支架(8)、矩形等截面梁(9)、悬臂梁固定结构(14)和应力加载系统(15),其特征在于:
支架(8)一端固定在光学隔振平台(16)上,另一端用于放置F-P标准具干涉测量系统(6),面阵器件(7)布置在F-P标准具干涉测量系统(6)前且与F-P标准具干涉测量系统(6)处于同一光轴中用于成像,悬臂梁固定结构(14)将矩形等截面梁(9)以悬臂梁结构固定,应力加载系统(15)通过对应力F的改变从而改变矩形等截面梁(9)端面的形变大小。
2.根据权利要求1所述的基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置,其特征在于:所述的F-P标准具干涉测量系统(6)依次包括激光光源(1)、扩束镜(2)、毛玻璃(3)、F-P标准具(4)和透射物镜(5),扩束镜(2)将激光光源(1)发出的光束变成平行光,平行光经过毛玻璃(3)后均匀的进入F-P标准具(4),光束在F-P标准具(4)出射面上产生系列标准圆锥光束,最后经透射物镜(5)后成像在面阵器件(7)。
3.根据权利要求1所述的基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置,其特征在于:所述的悬臂梁固定结构(14)包括固定在光学隔振平台(16)上的V形槽(12),放置在V形槽(12)上的光洁度非常好的圆柱销(13)以及用于紧固矩形等截面梁(9)的带有双层弹簧垫圈的螺钉(10)和压板(11)。
4.根据权利要求1所述的基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置,其特征在于:所述的矩形等截面梁(9)在其受力点处有一个小凹槽,其大小可以刚好卡入一根钢丝线。
5.根据权利要求1所述的基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置,其特征在于:所述的支架(8)在矩形等截面梁(9)的受力点正下方处存在一个圆柱型空心。
6.根据权利要求1所述的基于悬臂梁应变测量的F-P微位移测量系统线性度比对装置,其特征在于:所述的应力加载系统(15)包括一端悬挂在矩形等截面梁(9)上小凹槽处的钢丝线(17),另一端穿过支架(8)中的圆柱型空心处后与下方的浮子(18)连接,浮子(18)放置于盛有水且水面上铺有油层的烧杯容器(19),通过螺旋机构起降台(21)改变烧杯容器(19)的位置,从而改变浮子(18)所受的浮力大小,使得矩形等截面梁(9)所受的应力F的大小改变,数字天平(20)用于测量浮力变化大小。
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