[实用新型]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 201821418934.7 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208949393U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 王策;李先林;吕勇 | 申请（专利权）人： | 华夏易能（海南）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 570216 海南省海口市南海*** | 国省代码： | 海南;46 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化工设备技术领域，具体而言，涉及一种镀膜设备，包括真空腔室、布气管路以及在真空腔室内用于镀膜的基片和靶材，所述布气管路包括固定在真空腔室内的定管和至少一个在真空腔室内相对于定管可移动的动管，所述定管和动管分别设置至少一个用于向真空腔室内输送工艺气体的进气孔，通过移动动管，镀膜设备能够根据镀膜情况调整真空腔室内局部工艺气体分布。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔 室内 镀膜设备 定管 动管 布气管路 镀膜 本实用新型 工艺气体 化工设备 局部工艺 气体分布 真空腔室 进气孔 可移动 靶材 移动 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，其特征在于，包括真空腔室、布气管路以及在所述真空腔室内用于镀膜的基片和靶材；所述布气管路包括设置在所述真空腔室内的定管和至少一个在所述真空腔室内可相对于所述定管移动的动管；所述定管和动管分别设置多个用于向所述真空腔室内输送工艺气体的进气孔。
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