[实用新型]一种用于单晶硅切片的研磨装置

摘要

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，且公开了一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板的底部固定安装有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，所述侧盒的数量为两个，两个所述侧盒的内部均固定安装有导杆，两个所述导杆的中部均活动套接有滑动块，两个所述导杆的外表面均活动套接有分别位于滑动块上方和下方的支撑弹簧。该用于单晶硅切片的研磨装置，通过将待加工工件放在紧固环内，然后利用竖杆、拉杆、限位吸盘和刚性弹簧之间的配合，使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。

主权项

1.一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的底部固定安装有支撑腿(2)，所述支撑板(1)顶部的两侧均固定安装有侧盒(3)，所述侧盒(3)的数量为两个，两个所述侧盒(3)的内部均固定安装有导杆(4)，两个所述导杆(4)的中部均活动套接有滑动块(5)，两个所述导杆(4)的外表面均活动套接有分别位于滑动块(5)上方和下方的支撑弹簧(6)，所述支撑弹簧(6)的一端与滑动块(5)固定连接，所述支撑弹簧(6)的另一端与侧盒(3)的内壁固定连接，两个所述滑动块(5)之间固定安装有连接板(7)，所述连接板(7)的外表面与侧盒(3)活动套接，所述连接板(7)顶端的中部固定安装有紧固环(8)，所述紧固环(8)的内部活动套接有待加工工件(9)，所述连接板(7)的顶部固定安装有位于待加工工件(9)两侧的固定装置(10)，两个所述固定装置(10)相靠近的一端均与待加工工件(9)的侧面活动连接，所述连接板(7)的顶部固定安装有位于待加工工件(9)后方的支撑柱(11)，所述支撑柱(11)正面的顶端固定安装有液压缸(12)，所述液压缸(12)的底端固定连接有固定盒(13)，所述固定盒(13)的内部固定安装有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴固定连接有转动轴(15)，所述转动轴(15)的另一端固定连接有研磨盘(16)，所述连接板(7)的底部固定安装有漏斗(17)，所述漏斗(17)的底部固定连通有导管(18)，所述导管(18)的底端贯穿支撑板(1)并延伸至支撑板(1)的下方且固定连通有收集盒(19)，所述收集盒(19)的两侧均固定连通有连接管(20)，所述连接管(20)的另一端固定连通有动力泵(21)，所述动力泵(21)的另一侧固定连通有引流管(23)，所述引流管(23)的另一端固定连通有顶盒(24)，所述顶盒(24)的底部与侧盒(3)的顶部固定连接，所述顶盒(24)的另一侧固定安装有喷头(25)。