[实用新型]一种用于单晶硅切片的研磨装置

说明书

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，且公开了一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板的底部固定安装有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，所述侧盒的数量为两个，两个所述侧盒的内部均固定安装有导杆，两个所述导杆的中部均活动套接有滑动块，两个所述导杆的外表面均活动套接有分别位于滑动块上方和下方的支撑弹簧。该用于单晶硅切片的研磨装置，通过将待加工工件放在紧固环内，然后利用竖杆、拉杆、限位吸盘和刚性弹簧之间的配合，使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等；单晶硅切片研磨，是指单晶硅切片通过研磨能去除切片和轮磨所造成的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅切片的曲度、平坦度和平行度，达到一个抛光过程可以处理规格，现有技术都是利用研磨装置对单晶硅切片进行研磨。

现有的研磨装置中并没有固定待加工工件的装置，基本是将待加工工件放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件移动，导致研磨质量变差，在研磨的过程中会喷洒研磨液，但是，现有的研磨装置并不具有对研磨液进行收集的功能，不能对研磨液进行循环利用，造成资源的浪费。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于单晶硅切片的研磨装置，具备研磨过程稳定和循环利用研磨液等优点，解决了现有的研磨装置中并没有固定待加工工件的装置，基本是将待加工工件放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件移动，导致研磨质量变差，在研磨的过程中会喷洒研磨液，但是，现有的研磨装置并不具有对研磨液进行收集的功能，不能对研磨液进行循环利用，造成资源的浪费的问题。

(二)技术方案

为实现上述研磨过程稳定和循环利用研磨液的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板的底部固定安装有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，所述侧盒的数量为两个，两个所述侧盒的内部均固定安装有导杆，两个所述导杆的中部均活动套接有滑动块，两个所述导杆的外表面均活动套接有分别位于滑动块上方和下方的支撑弹簧，所述支撑弹簧的一端与滑动块固定连接，所述支撑弹簧的另一端与侧盒的内壁固定连接，两个所述滑动块之间固定安装有连接板，所述连接板的外表面与侧盒活动套接，所述连接板顶端的中部固定安装有紧固环，所述紧固环的内部活动套接有待加工工件，所述连接板的顶部固定安装有位于待加工工件两侧的固定装置，两个所述固定装置相靠近的一端均与待加工工件的侧面活动连接，所述连接板的顶部固定安装有位于待加工工件后方的支撑柱，所述支撑柱正面的顶端固定安装有液压缸，所述液压缸的底端固定连接有固定盒，所述固定盒的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有转动轴，所述转动轴的另一端固定连接有研磨盘，所述连接板的底部固定安装有漏斗，所述漏斗的底部固定连通有导管，所述导管的底端贯穿支撑板并延伸至支撑板的下方且固定连通有收集盒，所述收集盒的两侧均固定连通有连接管，所述连接管的另一端固定连通有动力泵，所述动力泵的另一侧固定连通有引流管，所述引流管的另一端固定连通有顶盒，所述顶盒的底部与侧盒的顶部固定连接，所述顶盒的另一侧固定安装有喷头。

优选的，所述连接管的外表面固定套接有连接套，所述连接套的顶部与支撑板的顶部固定连接，所述侧盒侧面的中部固定安装有限位块，所述限位块与引流管的外表面固定套接。